公开(公告)号：CN114702304B

公开(公告)日：2023-03-17

申请号：CN202210511038.X

申请日：2022-05-11

Applicant: 郑州大学

Inventor： 刘洋 ,  左仲恒 ,  孙本双 ,  曾学云 ,  王之君 ,  刘苗 ,  陈杰 ,  舒永春 ,  何季麟

IPC: C23C14/08 ,  C04B35/01 ,  C04B35/622 ,  C04B35/638 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供了一种铟钨氧化物靶材及其制备方法，属于光电材料技术领域。本发明先将化学计量比的氧化铟和氧化钨混合，经过煅烧使二者能够完全固相反应得到In6WO12；通过在氧气氛围中进行煅烧可以抑制氧空位的产生，进而提高产物的致密度；将In6WO12与氧化铟、水、分散剂和粘结剂混合后进行压力注浆，提高In6WO12相在靶材中的分散程度，同时进一步提高靶材的致密度；通过脱脂处理去除分散剂和粘结剂，结合台阶变温烧结，使得到的靶材组织细化均匀、致密度高。实施例的实验结果表明，本发明提供的制备方法制备的铟钨氧化物靶材的相对密度为98.1～99.6％。

公开(公告)号：CN114702304A

公开(公告)日：2022-07-05

申请号：CN202210511038.X

申请日：2022-05-11

Applicant: 郑州大学

Inventor： 刘洋 ,  左仲恒 ,  孙本双 ,  曾学云 ,  王之君 ,  刘苗 ,  陈杰 ,  舒永春 ,  何季麟

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/622 ,  C04B35/638 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供了一种铟钨氧化物靶材及其制备方法，属于光电材料技术领域。本发明先将化学计量比的氧化铟和氧化钨混合，经过煅烧使二者能够完全固相反应得到In6WO12；通过在氧气氛围中进行煅烧可以抑制氧空位的产生，进而提高产物的致密度；将In6WO12与氧化铟、水、分散剂和粘结剂混合后进行压力注浆，提高In6WO12相在靶材中的分散程度，同时进一步提高靶材的致密度；通过脱脂处理去除分散剂和粘结剂，结合台阶变温烧结，使得到的靶材组织细化均匀、致密度高。实施例的实验结果表明，本发明提供的制备方法制备的铟钨氧化物靶材的相对密度为98.1～99.6％。