公开(公告)号：CN113956022A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111442278.0

申请日：2021-11-30

Applicant: 郑州大学

Inventor： 刘洋 ,  孙本双 ,  曾学云 ,  刘超飞 ,  刘笑开 ,  王之君 ,  刘苗 ,  陈杰 ,  舒永春 ,  何季麟

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/622 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供了一种锌掺杂氧化铟粉体、溅射靶材及其制备方法，属于新材料技术领域。本发明采用水热法一步合成了锌掺杂氧化铟的前驱体粉末，反应体系稳定，所得锌掺杂氧化铟粉体纯度高、晶型分布均匀，分散性好、结晶度高；该粉体烧结后所得溅射靶材晶粒尺寸细小、分布均匀、致密度高。本申请从粉体的制备，到成形及烧结工艺，整个流程简便，成本低，适于工业化生产。

公开(公告)号：CN113149633A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN202110377477.1

申请日：2021-04-08

Applicant: 郑州大学

Inventor： 刘洋 ,  孙本双 ,  舒永春 ,  曾学云 ,  刘笑开 ,  何季麟

IPC: C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/638

Abstract: 二次相可控锌铝氧化物溅射靶材的制备方法，包括：氧化锌粉体与氧化铝粉体以摩尔比1:1混合均匀得第一混合粉体，第一混合粉体在氧气氛中煅烧处理，生成铝酸锌粉体；其中，煅烧温度设定为1000～1400℃，煅烧处理时间设定为2～20小时；生成的铝酸锌粉体与氧化锌粉体以摩尔比0.015～0.02混合得到第二混合粉体，第二混合粉体与设定比例的水、分散剂和粘结剂混合，得到固含量大于80％、粘度小于100mPa·s的锌铝氧化物浆料；生成的锌铝氧化物浆料压力注浆成型得到相对密度大于60％的锌铝氧化物靶材素坯；锌铝氧化物靶材素坯进行干燥处理；干燥后的锌铝氧化物靶材素坯进行脱脂烧结处理，得到二次相可控锌铝氧化物溅射靶材。

公开(公告)号：CN119143498A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411292424.X

申请日：2024-09-14

Applicant: 郑州大学 ,  中原关键金属实验室

Inventor： 刘洋 ,  孙本双 ,  赵合涛 ,  刘笑开 ,  刘苗 ,  王之君 ,  何季麟

IPC: C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/64 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明公开了一种高密度铟锡锌氧化物溅射靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、将氧化铟粉末、氧化锡粉末和氧化锌粉末混合，得到混合粉体；然后将所得混合粉体与分散剂、粘结剂、去离子水混合，得到ITZO浆料；再对ITZO浆料依次进行球磨、砂磨，得到ITZO浆料分散体；S2、将所得ITZO浆料分散体进行压力注浆成型，干燥、脱脂，得到溅射靶材干素坯；S3、将溅射靶材干素坯采用台阶变温法烧结，得到铟锡锌氧化物溅射靶材。本发明制得的铟锡锌氧化物溅射靶材的致密度可达99.8％以上；其中，通过调控烧结工艺参数，可实现ITZO溅射靶材的晶粒可控，通过注浆成型法可制备大尺寸的溅射靶材素坯，且操作简便，节约成本。