公开(公告)号：CN109312451A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780038118.5

申请日：2017-06-21

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 丹尼斯·卡梅尼察 ,  理查德·雷舒特 ,  费尔南多·席尔瓦 ,  杰森·贝灵哲 ,  吴向阳

IPC: C23C14/48 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统(101)，包括配置成由碘化铝形成离子束(116)的离子源(108)。束线总成选择性将离子束输送到配置成接受该离子束以将铝离子注入工件(128)中的终端站(106)。离子源可具有固态材料源(112)，该固态材料源具有固体形式的碘化铝。固体源蒸发器(146)可配置成蒸发碘化铝，界定气态碘化铝。电弧腔室(114)可由气态碘化铝形成等离子体，其中来自电源(110)的电弧电流配置成从碘化铝中离解铝离子。一个或多个引出电极(118)可配置成从电弧腔室中引出离子束。任选地，水蒸汽源(150)进一步引入水与残余碘化铝反应形成氢碘酸，其中从系统中排空残余碘化铝和氢碘酸。

公开(公告)号：CN107924798B

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201680048302.3

申请日：2016-07-29

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 约翰·巴格特 ,  杰森·贝灵哲

IPC: H01J37/08

Abstract: 一种离子源丝极夹钳(100)具有夹钳构件(102)，其具有第一端部(104)及第二端部(106)。第一端部具有凸轮表面(132)以及凸轮从动件(134)中的一个并且具有彼此相对且由开槽(114)分隔开的第一部分(110)及第二部分(112)，该开槽具有界定于其中的引线开口(116)，用以容置离子源丝极的引线。致动器销(120)沿致动器销轴线(126)延伸并且具有第一区段(122)及第二区段。第一区段(122)被耦接至夹钳构件的第一部分(110)。致动器销延伸贯穿夹钳构件的第二部分中的通孔(128)并且与其滑动啮合。凸轮构件(108)操作式耦接至致动器销(120)的第二区段(124)。凸轮构件具有握柄(13)以及凸轮表面及凸轮从动件中的另一个并且被配置成在夹紧位置与松开位置之间旋转。凸轮从动件(134)滑动接触凸轮表面(132)。在夹紧位置中，凸轮从动件以第一预定方式啮合凸轮表面，因此选择性将夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)压向彼此并且在引线开口内的引线上施加夹持压力，同时引发夹钳构件的第一部分与第二部分之间的弹性张力。在松开位置中，凸轮从动件以第二预定方式啮合凸轮表面，其中，弹性张力使夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)彼此分开地扩张，其中释放引线开口内的引线上的夹持压力。

公开(公告)号：CN109312451B

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN201780038118.5

申请日：2017-06-21

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 丹尼斯·卡梅尼察 ,  理查德·雷舒特 ,  费尔南多·席尔瓦 ,  杰森·贝灵哲 ,  吴向阳

IPC: C23C14/48 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统(101)，包括配置成由碘化铝形成离子束(116)的离子源(108)。束线总成选择性将离子束输送到配置成接受该离子束以将铝离子注入工件(128)中的终端站(106)。离子源可具有固态材料源(112)，该固态材料源具有固体形式的碘化铝。固体源蒸发器(146)可配置成蒸发碘化铝，界定气态碘化铝。电弧腔室(114)可由气态碘化铝形成等离子体，其中来自电源(110)的电弧电流配置成从碘化铝中离解铝离子。一个或多个引出电极(118)可配置成从电弧腔室中引出离子束。任选地，水蒸汽源(150)进一步引入水与残余碘化铝反应形成氢碘酸，其中从系统中排空残余碘化铝和氢碘酸。

公开(公告)号：CN104364890A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380031317.5

申请日：2013-06-12

Applicant: 艾克塞利斯科技公司 ,  威廉·戴维斯·李 ,  凯文·霍伊特 ,  大卫·山 ,  杰森·贝灵哲

Inventor： 威廉·戴维斯·李 ,  凯文·霍伊特 ,  大卫·山 ,  杰森·贝灵哲

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67346 ,  H01L21/68721

Abstract: 本发明涉及一种工件承载件，该工件承载件包括第一板，其具有第一外径、第一内径及第一凹部，该第一凹部自第一内径向第一外径延伸第一距离。该工件承载件进一步包括第二板，其具有第二外径、第二内径及第二凹部，该第二凹部自第二内径向第二外径延伸第二距离。与第一板及第二板关联的多个配合功能件配置成选择性将第一工件的位置固定于第一板与第二板之间和第一凹部及第二凹部内。

公开(公告)号：CN104364890B

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201380031317.5

申请日：2013-06-12

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·戴维斯·李 ,  凯文·霍伊特 ,  大卫·山 ,  杰森·贝灵哲

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67346 ,  H01L21/68721

Abstract: 本发明涉及一种工件承载件，该工件承载件包括第一板，其具有第一外径、第一内径及第一凹部，该第一凹部自第一内径向第一外径延伸第一距离。该工件承载件进一步包括第二板，其具有第二外径、第二内径及第二凹部，该第二凹部自第二内径向第二外径延伸第二距离。与第一板及第二板关联的多个配合功能件配置成选择性将第一工件的位置固定于第一板与第二板之间和第一凹部及第二凹部内。

公开(公告)号：CN107924798A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680048302.3

申请日：2016-07-29

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 约翰·巴格特 ,  杰森·贝灵哲

IPC: H01J37/08

Abstract: 一种离子源丝极夹钳(100)具有夹钳构件(102)，其具有第一端部(104)及第二端部(106)。第一端部具有凸轮表面(132)以及凸轮从动件(134)中的一个并且具有彼此相对且由开槽(114)分隔开的第一部分(110)及第二部分(112)，该开槽具有界定于其中的引线开口(116)，用以容置离子源丝极的引线。致动器销(120)沿致动器销轴线(126)延伸并且具有第一区段(122)及第二区段。第一区段(122)被耦接至夹钳构件的第一部分(110)。致动器销延伸贯穿夹钳构件的第二部分中的通孔(128)并且与其滑动啮合。凸轮构件(108)操作式耦接至致动器销(120)的第二区段(124)。凸轮构件具有握柄(13)以及凸轮表面及凸轮从动件中的另一个并且被配置成在夹紧位置与松开位置之间旋转。凸轮从动件(134)滑动接触凸轮表面(132)。在夹紧位置中，凸轮从动件以第一预定方式啮合凸轮表面，因此选择性将夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)压向彼此并且在引线开口内的引线上施加夹持压力，同时引发夹钳构件的第一部分与第二部分之间的弹性张力。在松开位置中，凸轮从动件以第二预定方式啮合凸轮表面，其中，弹性张力使夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)彼此分开地扩张，其中释放引线开口内的引线上的夹持压力。