公开(公告)号：CN104364890A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380031317.5

申请日：2013-06-12

Applicant: 艾克塞利斯科技公司 ,  威廉·戴维斯·李 ,  凯文·霍伊特 ,  大卫·山 ,  杰森·贝灵哲

Inventor： 威廉·戴维斯·李 ,  凯文·霍伊特 ,  大卫·山 ,  杰森·贝灵哲

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67346 ,  H01L21/68721

Abstract: 本发明涉及一种工件承载件，该工件承载件包括第一板，其具有第一外径、第一内径及第一凹部，该第一凹部自第一内径向第一外径延伸第一距离。该工件承载件进一步包括第二板，其具有第二外径、第二内径及第二凹部，该第二凹部自第二内径向第二外径延伸第二距离。与第一板及第二板关联的多个配合功能件配置成选择性将第一工件的位置固定于第一板与第二板之间和第一凹部及第二凹部内。

公开(公告)号：CN104364890B

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：CN201380031317.5

申请日：2013-06-12

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·戴维斯·李 ,  凯文·霍伊特 ,  大卫·山 ,  杰森·贝灵哲

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67346 ,  H01L21/68721

Abstract: 本发明涉及一种工件承载件，该工件承载件包括第一板，其具有第一外径、第一内径及第一凹部，该第一凹部自第一内径向第一外径延伸第一距离。该工件承载件进一步包括第二板，其具有第二外径、第二内径及第二凹部，该第二凹部自第二内径向第二外径延伸第二距离。与第一板及第二板关联的多个配合功能件配置成选择性将第一工件的位置固定于第一板与第二板之间和第一凹部及第二凹部内。