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公开(公告)号：CN105981152B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201580007888.4
申请日：2015-02-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种静电夹紧系统，其具有静电夹盘，该静电夹盘具有一个或多个电极和夹紧表面以及穿过该静电夹盘的一个或多个流体通道。多个流体源具有与其相关联的各自的多个流体，其中所述多个流体中的每一流体在化学上彼此相异且具有与其相关联的各自的可行流体温度范围。热单元配置成将多个流体加热和/或冷却至一个或多个预定温度设定点。阀组件配置成使所述多个流体源中的每一流体源选择性流体耦接至所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道。控制器亦配置成经由对所述阀组件的控制使所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道选择性与所述多个流体源中的所选一个或多个流体源流体耦接。
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公开(公告)号：CN106062940A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580007872.3
申请日：2015-02-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 威廉·戴维斯·李
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种工件支撑件，其具有容器，该容器具有顶部内壁及底部内壁。在所述顶部内壁与底部内壁之间界定内部腔室，其中支撑表面配置成支撑工件。板件定位于所述内部腔室内，该板件将所述内部腔室划分成顶部腔室及底部腔室。所述顶部与底部腔室绕所述板件的外围流体耦接。界定于所述顶部内壁及所述板件的顶部部分中的一个或多个中的第一锥体跨所述顶部腔室的径向横截面提供基本上恒定的容积。界定于所述底部内壁及所述板件的底部部分中的一个或多个中的第二锥体跨所述底部腔室的径向横截面提供基本上恒定的容积。第一端口及第二端口将所述顶部腔室及底部腔室流体耦接至各自的第一流体通道及第二流体通道。
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公开(公告)号：CN105993069A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201580007873.8
申请日：2015-02-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 威廉·戴维斯·李
IPC: H01L21/683 , H02N3/00
CPC classification number: H01L21/6833 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: 一种静电夹紧系统提供静电夹钳(ESC)，其具有夹紧表面以及第一对及第二对电极。所述第一对电极中的每一电极与所述夹紧表面的相应三分之一相关联，并且所述第二对电极中的每一电极与所述夹紧表面的相应六分之一相关联。所述第一对及第二对电极中的每一对的外围区域的宽度朝所述夹紧表面的外围呈螺旋状递减。电源供应器选择性输出DC及三相AC箝位电压。控制器选择性以DC模式及AC模式操作所述ESC。所述DC模式将所述第一对电极中的一个电极及所述第二对电极中的一个电极电性连接至所述电源供应器的正极端子，并且将所述第一对电极中的另一电极及所述第二对电极中的另一电极电性连接至所述电源供应器的负极端子。所述AC模式将所述电源供应器的第一相端子电性连接至所述第一对电极中的一个电极，将所述电源供应器的第二相端子电性连接至所述第一对电极中的另一电极，并且将所述电源供应器的第三相端子电性连接至所述第二对电极的两个电极。
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公开(公告)号：CN102934219A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180028550.9
申请日：2011-06-08
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/67346
Abstract: 本发明提供一种夹持装置和方法，用于将具有不同尺寸的第一工件和第二工件固定至夹持装置并且为其提供热调节。静电夹持板包围夹具的中央部分，静电夹持板具有和第一工件相关联的直径。非静电中央部分在环内提供加热器，其中中央部分具有和第二工件相关联的直径。设置工件托架，其中工件托架被构造成将第二工件保持在加热器的上方，且其中工件托架的直径和静电夹持板环相关联。环选择性地将工件托架或第一工件的圆周部分静电夹持至其夹持表面，其中选择性地保持第一工件或第二工件相对于环或非静电中央部分的位置。
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公开(公告)号：CN104364890A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380031317.5
申请日：2013-06-12
IPC: H01L21/673 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/67346 , H01L21/68721
Abstract: 本发明涉及一种工件承载件，该工件承载件包括第一板，其具有第一外径、第一内径及第一凹部，该第一凹部自第一内径向第一外径延伸第一距离。该工件承载件进一步包括第二板，其具有第二外径、第二内径及第二凹部，该第二凹部自第二内径向第二外径延伸第二距离。与第一板及第二板关联的多个配合功能件配置成选择性将第一工件的位置固定于第一板与第二板之间和第一凹部及第二凹部内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102292796B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201080005099.4
申请日：2010-01-22
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/67109 , Y10T279/11
Abstract: 本发明涉及一种防冷凝隔热卡盘、围绕卡盘形成隔热层的方法和装置，该卡盘用于在进行离子注入时保持晶片。隔热层位于夹持表面的下面，包括真空间隙和包裹真空间隙的外壳。隔热层提供屏障，通过实质上阻止被冷却的卡盘和处理室内的温度较高的环境之间的热传递，防止位于处理室之内的卡盘外部的冷凝。
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公开(公告)号：CN106062940B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201580007872.3
申请日：2015-02-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 威廉·戴维斯·李
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种工件支撑件，其具有容器，该容器具有顶部内壁及底部内壁。在所述顶部内壁与底部内壁之间界定内部腔室，其中支撑表面配置成支撑工件。板件定位于所述内部腔室内，该板件将所述内部腔室划分成顶部腔室及底部腔室。所述顶部与底部腔室绕所述板件的外围流体耦接。界定于所述顶部内壁及所述板件的顶部部分中的一个或多个中的第一锥体跨所述顶部腔室的径向横截面提供基本上恒定的容积。界定于所述底部内壁及所述板件的底部部分中的一个或多个中的第二锥体跨所述底部腔室的径向横截面提供基本上恒定的容积。第一端口及第二端口将所述顶部腔室及底部腔室流体耦接至各自的第一流体通道及第二流体通道。
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公开(公告)号：CN105981152A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201580007888.4
申请日：2015-02-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种静电夹紧系统，其具有静电夹盘，该静电夹盘具有一个或多个电极和夹紧表面以及穿过该静电夹盘的一个或多个流体通道。多个流体源具有与其相关联的各自的多个流体，其中所述多个流体中的每一流体在化学上彼此相异且具有与其相关联的各自的可行流体温度范围。热单元配置成将多个流体加热和/或冷却至一个或多个预定温度设定点。阀组件配置成使所述多个流体源中的每一流体源选择性流体耦接至所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道。控制器亦配置成经由对所述阀组件的控制使所述静电夹盘的所述一个或多个流体通道选择性与所述多个流体源中的所选一个或多个流体源流体耦接。
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公开(公告)号：CN104364890B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201380031317.5
申请日：2013-06-12
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/673 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/67346 , H01L21/68721
Abstract: 本发明涉及一种工件承载件，该工件承载件包括第一板，其具有第一外径、第一内径及第一凹部，该第一凹部自第一内径向第一外径延伸第一距离。该工件承载件进一步包括第二板，其具有第二外径、第二内径及第二凹部，该第二凹部自第二内径向第二外径延伸第二距离。与第一板及第二板关联的多个配合功能件配置成选择性将第一工件的位置固定于第一板与第二板之间和第一凹部及第二凹部内。
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公开(公告)号：CN102934218B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201180028276.5
申请日：2011-06-08
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/68728
Abstract: 本发明提供一种静电夹具，该静电夹具具有夹持板，其中夹持板的夹持表面被构造成接触工件。施加至一个或多个电极的电压将工件选择性地静电吸引至夹持表面。本发明还提供一个或多个辅助夹持构件，其中一个或多个辅助夹持构件被构造成将工件的至少一部分选择性地固定至夹持表面。本发明还提供一种温度监测装置，该温度监测装置被构造成确定该工件的温度，而且控制器被构造成至少部分地基于工件的温度通过控制施加至一个或多个电极的电压以及一个或多个辅助夹持构件来将工件选择性地夹持至夹持表面。
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