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公开(公告)号：CN109312451A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780038118.5
申请日：2017-06-21
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: C23C14/48 , H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统(101)，包括配置成由碘化铝形成离子束(116)的离子源(108)。束线总成选择性将离子束输送到配置成接受该离子束以将铝离子注入工件(128)中的终端站(106)。离子源可具有固态材料源(112)，该固态材料源具有固体形式的碘化铝。固体源蒸发器(146)可配置成蒸发碘化铝，界定气态碘化铝。电弧腔室(114)可由气态碘化铝形成等离子体，其中来自电源(110)的电弧电流配置成从碘化铝中离解铝离子。一个或多个引出电极(118)可配置成从电弧腔室中引出离子束。任选地，水蒸汽源(150)进一步引入水与残余碘化铝反应形成氢碘酸，其中从系统中排空残余碘化铝和氢碘酸。
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公开(公告)号：CN109312451B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201780038118.5
申请日：2017-06-21
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: C23C14/48 , H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统(101)，包括配置成由碘化铝形成离子束(116)的离子源(108)。束线总成选择性将离子束输送到配置成接受该离子束以将铝离子注入工件(128)中的终端站(106)。离子源可具有固态材料源(112)，该固态材料源具有固体形式的碘化铝。固体源蒸发器(146)可配置成蒸发碘化铝，界定气态碘化铝。电弧腔室(114)可由气态碘化铝形成等离子体，其中来自电源(110)的电弧电流配置成从碘化铝中离解铝离子。一个或多个引出电极(118)可配置成从电弧腔室中引出离子束。任选地，水蒸汽源(150)进一步引入水与残余碘化铝反应形成氢碘酸，其中从系统中排空残余碘化铝和氢碘酸。
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公开(公告)号：CN109312452B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201780038149.0
申请日：2017-06-21
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: C23C14/48 , H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 本发明提供离子注入系统和方法，用于由碘化铝形成离子束。水蒸汽源进一步引入水与残余碘化铝反应形成氢碘酸，其中从系统中排空残余碘化铝和氢碘酸。
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公开(公告)号：CN109312452A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780038149.0
申请日：2017-06-21
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: C23C14/48 , H01J37/317 , H01L21/265
Abstract: 本发明提供离子注入系统和方法，用于由碘化铝形成离子束。水蒸汽源进一步引入水与残余碘化铝反应形成氢碘酸，其中从系统中排空残余碘化铝和氢碘酸。
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