公开(公告)号：CN107430968B

公开(公告)日：2020-05-22

申请号：CN201680020055.6

申请日：2016-03-22

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 伯·范德伯格 ,  约瑟夫·瓦林斯基 ,  迈克尔·克里斯托福罗

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 模块化离子源和提取设备200包括选择性地电连接到电压电位的离子源室202，其中离子源室包括提取孔203。提取电极206位于靠近离子源室的提取孔的位置，其中提取电极被配置为从离子源室提取离子，并且可以电接地。一个或多个连杆208可操作地连接到离子源室，并且一个或多个绝缘体210将提取电极连接到相应的一个或多个连杆，其中一个或多个绝缘体使相应的一个或多个连杆与提取电极电绝缘，其中提取电极与离子源室电绝缘。一个或多个致动器212、218、220可操作地将一个或多个连杆连接到离子源室，其中一个或多个致动器被配置成使一个或多个连杆相对于所述离子源室平移，其中使提取电极在一个或多个轴线上平移。

公开(公告)号：CN107430968A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680020055.6

申请日：2016-03-22

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 伯·范德伯格 ,  约瑟夫·瓦林斯基 ,  迈克尔·克里斯托福罗

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

Abstract: 模块化离子源和提取设备200包括选择性地电连接到电压电位的离子源室202，其中离子源室包括提取孔203。提取电极206位于靠近离子源室的提取孔的位置，其中提取电极被配置为从离子源室提取离子，并且可以电接地。一个或多个连杆208可操作地连接到离子源室，并且一个或多个绝缘体210将提取电极连接到相应的一个或多个连杆，其中一个或多个绝缘体使相应的一个或多个连杆与提取电极电绝缘，其中提取电极与离子源室电绝缘。一个或多个致动器212、218、220可操作地将一个或多个连杆连接到离子源室，其中一个或多个致动器被配置成使一个或多个连杆相对于所述离子源室平移，其中使提取电极在一个或多个轴线上平移。

公开(公告)号：CN118661240A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202380019268.7

申请日：2023-01-30

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 尼尔·巴森 ,  约书亚·阿比沙斯 ,  大卫·斯波德莱 ,  尼尔·科尔文 ,  约瑟夫·瓦林斯基 ,  迈克尔·克里斯托福罗 ,  弗拉迪米尔·罗曼诺夫 ,  普拉蒂帕·考瑞坎·苏布拉赫姆尼亚

IPC: H01J37/08 ,  H01J27/08 ,  H01J37/317

Abstract: 离子源110具有限定电弧室容积140的电弧室116。储液器144耦合到电弧室，从而限定储液器容积146。储液器容纳源种类以限定储液器容积内的液体114。导管154将储液器容积流体地耦合到电弧室容积。可选地，该导管的第一和第二开口156，158通向相应的储液器和电弧室容积。可选地，热源152选择性地加热储液器以在预定温度下熔化源种类。液体控制装置160控制储液器容积内的液体的第一容积以限定向电弧室容积的液体的预定供应量。可选地，液体控制装置是加压气体源174，该加压气体源流体地耦合到储液器以向储液器供应气体并向电弧室提供预定量的液体。