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公开(公告)号：CN102792169A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180014220.4
申请日：2011-01-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01P15/09 , G01P15/0802 , G01P15/12 , G01P15/123
Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有：衬底（1）；在衬底（1）上能偏转地悬挂的抗震质量（3）；至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’），所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化；其中压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’）具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线（2a，2b；2a’,2b’），所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中；以及测量装置（M1；M2；M1’;M1’’），该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化，所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。
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公开(公告)号：CN108449950A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201680067979.1
申请日：2016-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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公开(公告)号：CN102313819B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201110183221.3
申请日：2011-07-01
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01L1/162 , G01L9/0022 , G01P15/09 , G01P15/123 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明涉及一种用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置。该微机械的传感器装置包括基片、以活动的方式优选有弹性地布置在所述基片上的试验块、用于借助于压电效应将作用于所述试验块的力转换为优选电气的信号的转换装置、用于向所述试验块加载额外的力的力加载器件尤其电极、用于控制所述力加载器件的控制器件，其中所述控制器件如此控制所述力加载器件，从而暂时地尤其周期性地向所述试验块加载所述额外的力，并且本发明涉及一种相应的方法。
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公开(公告)号：CN102792169B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201180014220.4
申请日：2011-01-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01P15/09 , G01P15/0802 , G01P15/12 , G01P15/123
Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有：衬底（1）；在衬底（1）上能偏转地悬挂的抗震质量（3）；至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’），所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化；其中压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’）具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线（2a，2b；2a’,2b’），所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中；以及测量装置（M1；M2；M1’;M1’’），该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化，所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。
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公开(公告)号：CN108449950B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201680067979.1
申请日：2016-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106852140B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201580057449.4
申请日：2015-09-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种具有多个基板的微电子构件系统以及一种相应的制造方法。具有多个基板的微电子构件系统包括构造为具有第一集成度的电路基板的第一基板（C1）、构造为具有第二集成度的电路基板的第二基板（C2）和第三基板（C3），该第三基板构造为MEMS‑传感器基板并且压接到第二基板（C2）上。第二和第三基板压接到第一基板（C1）上。第一集成度大幅度地大于第二集成度。
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公开(公告)号：CN108449949B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201680067919.X
申请日：2016-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明提供了微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有：第一科里奥利元件（110）；第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件（110）布置并且通过第一弹簧（114）耦合到第一科里奥利元件（110）上；以及第一驱动电极载体（136、137），所述驱动电极载体从第一驱动臂（113）朝相对于第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）。从另一视角，提供了用于运行这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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公开(公告)号：CN108449949A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201680067919.X
申请日：2016-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 本发明提供了微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有：第一科里奥利元件（110）；第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件（110）布置并且通过第一弹簧（114）耦合到第一科里奥利元件（110）上；以及第一驱动电极载体（136、137），所述驱动电极载体从第一驱动臂（113）朝相对于第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）。从另一视角，提供了用于运行这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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公开(公告)号：CN106852140A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201580057449.4
申请日：2015-09-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种具有多个基板的微电子构件系统以及一种相应的制造方法。具有多个基板的微电子构件系统包括构造为具有第一集成度的电路基板的第一基板（C1）、构造为具有第二集成度的电路基板的第二基板（C2）和第三基板（C3），该第三基板构造为MEMS‑传感器基板并且压接到第二基板（C2）上。第二和第三基板压接到第一基板（C1）上。第一集成度大幅度地大于第二集成度。
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公开(公告)号：CN102313819A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110183221.3
申请日：2011-07-01
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01L1/162 , G01L9/0022 , G01P15/09 , G01P15/123 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明涉及一种用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置。该微机械的传感器装置包括基片、以活动的方式优选有弹性地布置在所述基片上的试验块、用于借助于压电效应将作用于所述试验块的力转换为优选电气的信号的转换装置、用于向所述试验块加载额外的力的力加载器件尤其电极、用于控制所述力加载器件的控制器件，其中所述控制器件如此控制所述力加载器件，从而暂时地尤其周期性地向所述试验块加载所述额外的力，并且本发明涉及一种相应的方法。
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