公开(公告)号：CN102792169B

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：CN201180014220.4

申请日：2011-01-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R.诺伊尔 ,  C.雷蒂希 ,  A.特劳特曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  A.鲁曼 ,  M.恩格泽 ,  A.费伊

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12

CPC classification number: G01P15/09 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/12 ,  G01P15/123

Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有：衬底（1）；在衬底（1）上能偏转地悬挂的抗震质量（3）；至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’），所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化；其中压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’）具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线（2a，2b；2a’,2b’），所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中；以及测量装置（M1；M2；M1’;M1’’），该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化，所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。

公开(公告)号：CN102792169A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180014220.4

申请日：2011-01-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R.诺伊尔 ,  C.雷蒂希 ,  A.特劳特曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  A.鲁曼 ,  M.恩格泽 ,  A.费伊

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12

CPC classification number: G01P15/09 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/12 ,  G01P15/123

Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有：衬底（1）；在衬底（1）上能偏转地悬挂的抗震质量（3）；至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’），所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化；其中压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’）具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线（2a，2b；2a’,2b’），所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中；以及测量装置（M1；M2；M1’;M1’’），该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化，所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。