压阻微机械传感器器件以及相应的测量方法

    公开(公告)号:CN102792169B

    公开(公告)日:2016-10-19

    申请号:CN201180014220.4

    申请日:2011-01-19

    CPC classification number: G01P15/09 G01P15/0802 G01P15/12 G01P15/123

    Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有:衬底(1);在衬底(1)上能偏转地悬挂的抗震质量(3);至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁(1a,1b;1a’,1b’),所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化;其中压阻横梁(1a,1b;1a’,1b’)具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线(2a,2b;2a’,2b’),所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中;以及测量装置(M1;M2;M1’;M1’’),该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化,所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。

    压阻微机械传感器器件以及相应的测量方法

    公开(公告)号:CN102792169A

    公开(公告)日:2012-11-21

    申请号:CN201180014220.4

    申请日:2011-01-19

    CPC classification number: G01P15/09 G01P15/0802 G01P15/12 G01P15/123

    Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有:衬底(1);在衬底(1)上能偏转地悬挂的抗震质量(3);至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁(1a,1b;1a’,1b’),所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化;其中压阻横梁(1a,1b;1a’,1b’)具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线(2a,2b;2a’,2b’),所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中;以及测量装置(M1;M2;M1’;M1’’),该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化,所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。

    用于监视未接地电网中的绝缘电阻的方法和设备

    公开(公告)号:CN102933975A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201180029380.6

    申请日:2011-04-27

    CPC classification number: G01R27/14 B60L3/0069 G01R31/006 G01R31/14

    Abstract: 本发明涉及一种用于监视未接地电网中的绝缘电阻的方法和设备,该未接地电网具有直流电压中间电路(6)和至少一个与直流电压中间电路连接的变流器(3)用于控制n相电网(1)中的n相电消耗器(2)。在此在消耗器(2)运行期间确定待监视的电压(US;UM1;UM2),所述待监视的电压代表直流电压中间电路(6)的供电电压电势(T+,T-)相对于参考电势的电压波动。此外确定表征电消耗器的电频率的参数,尤其是电消耗器的电角速度()。在电消耗器(2)的n倍电频率的情况下将待监视的电压(US;UM1;UM2)的第一谱幅度与第一参考值相比较,并且当所述比较得出第一谱幅度与第一参考值存在偏差时探测到直流电压中间电路(6)或n相电网(1)中的对称绝缘故障。

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