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公开(公告)号:CN108449950A
公开(公告)日:2018-08-24
申请号:CN201680067979.1
申请日:2016-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 本发明涉及微机械的转速传感器(100),所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承(157)的旋转振荡器(140)。所述旋转振荡器(157)包括:摇臂(152);摇动弹簧棒(154),所述摇动弹簧棒使摇臂(152)与转速传感器(100)的衬底弹性地连接;和两个支承弹簧棒(153),所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒(154)的相反侧上使摇臂(152)与旋转振荡器(140)弹性地连接。从另一视角,提供了用于制造这样的微机械的转速传感器(100)的方法。
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公开(公告)号:CN102589539A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201110432509.X
申请日:2011-12-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , B81C1/00
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种用于测量旋转率的微型机械传感器。所述微型机械传感器包括:-第一和第二地震质量,其中,第一和第二地震质量借助弹簧元件彼此连接,-用于在第一平面中驱动第一和第二地震质量的第一和第二驱动装置,其中,至少一个驱动装置基本以恒定的间距与至少其中一个地震质量连接,-用于补偿垂直于第一平面地作用到第一和/或第二驱动装置的干扰力的补偿装置。本发明也涉及一种用于测量旋转率的方法,用于制造微型机械传感器的方法,以及微型机械传感器的应用。
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公开(公告)号:CN111344767A
公开(公告)日:2020-06-26
申请号:CN201880075009.5
申请日:2018-07-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明基于一种用于封印用于消费品、特别是机床的至少一个贮藏和/或包装设备和/或用于封印至少一个信息的封印设备,所述封印设备具有至少一个信息载体单元(14a;14b;14c),用于容纳至少一个信息和/或安全密钥(16a;16b;16c),特别是特定于消费品的信息和/或特定于消费品的安全密钥,并且所述封印设备具有至少一个固定单元(18a;18b;18c),特别是粘接单元,用于将所述至少一个信息载体单元(14a;14b;14c)固定在所述贮藏和/或包装设备处或固定在所述消费品、特别是机床处。提出所述封印设备具有至少一个封印单元(20a;20b;20c),用于至少基本上不可逆地可视化对所述信息载体单元(14a;14b;14c)的第一次查看和/或对所述贮藏和/或包装设备的第一次打开,其中所述封印单元(20a;20b;20c)在至少一个封印状态下不可见地覆盖所述至少一个信息载体单元(14a;14b;14c)。
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公开(公告)号:CN103723675B
公开(公告)日:2017-12-29
申请号:CN201310484562.3
申请日:2013-10-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00531 , B81B2201/0242 , B81C1/00595 , B81C1/00619 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , G01C19/5769
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法,所述制造方法具有下述步骤:在硅层(10)的现有的(110)‑表面定向的情况下,通过在所述硅层(10)的正面(12)上至少实施与晶体定向相关的蚀刻步骤从至少一个单晶的硅层(10)至少部分地结构化出至少一个结构(42、46),其中在硅层(10)的现有的(110)‑表面定向的情况下,在所述硅层(10)的正面(12)上额外地实施至少一个与晶体定向无关的蚀刻步骤以用于至少部分地结构化出至少一个结构(42、46)。此外,本发明还涉及一种微机械部件。
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公开(公告)号:CN102434689B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201110298828.6
申请日:2011-09-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor: B.施密特
IPC: F16K15/02
CPC classification number: F16J15/106 , F15B13/027 , F16J15/04 , F16K15/026
Abstract: 本发明公开一种密封套装置和一种具有这种类型的密封套装置的液压装置,或者液压阀。这种密封套装置在端面上具有环形密封表面,这个密封表面靠在密封边缘上。
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公开(公告)号:CN103723675A
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201310484562.3
申请日:2013-10-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00531 , B81B2201/0242 , B81C1/00595 , B81C1/00619 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , G01C19/5769
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法,所述制造方法具有下述步骤:在硅层(10)的现有的(110)-表面定向的情况下,通过在所述硅层(10)的正面(12)上至少实施与晶体定向相关的蚀刻步骤从至少一个单晶的硅层(10)至少部分地结构化出至少一个结构(42、46),其中在硅层(10)的现有的(110)-表面定向的情况下,在所述硅层(10)的正面(12)上额外地实施至少一个与晶体定向无关的蚀刻步骤以用于至少部分地结构化出至少一个结构(42、46)。此外,本发明还涉及一种微机械部件。
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公开(公告)号:CN102435183A
公开(公告)日:2012-05-02
申请号:CN201110272872.X
申请日:2011-09-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5656 , B81B3/00
CPC classification number: G01C19/5726 , G01C19/5719 , G01C25/00
Abstract: 本发明涉及一种特别是在汽车中使用的微型机械旋转率传感器,它包括基质,至少一个在基质上弹性设置的地震质量、用于地震质量产生周期运动的驱动装置,用于检测由于绕一个与激发方向垂直的旋转轴转动作用到地震质量上的科氏力的力探测装置,以及测量装置,其中,将测量装置设计成用于测量旋转率传感器的结构偏差。
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公开(公告)号:CN108449950B
公开(公告)日:2021-10-08
申请号:CN201680067979.1
申请日:2016-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及微机械的转速传感器(100),所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承(157)的旋转振荡器(140)。所述旋转振荡器(157)包括:摇臂(152);摇动弹簧棒(154),所述摇动弹簧棒使摇臂(152)与转速传感器(100)的衬底弹性地连接;和两个支承弹簧棒(153),所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒(154)的相反侧上使摇臂(152)与旋转振荡器(140)弹性地连接。从另一视角,提供了用于制造这样的微机械的转速传感器(100)的方法。
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公开(公告)号:CN106461395A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201580032495.9
申请日:2015-05-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , G01C19/5733
Abstract: 本发明涉及用于转动速率传感器的微机械的传感器构件,其带有:第一、第二、第三和第四激振质量(12a至12d),该激振质量围绕中间空间能够调节地布置在所述保持部(10)处;所述第一激振质量(12a)和所述第二激振质量(12b)至少沿着第一振动轴线(14)能够调节并且所述第三激振质量(12c)和第四激振质量(12d)至少沿着第二振动轴线(16)能够调节,其中,第一跷动结构(26a)经过第一跷动-耦合元件(28a)与第一激振质量(12a)并且经过第二跷动-耦合元件(28b)与第二激振质量(12b)相连,并且相邻于所述第三激振质量(12c)的外侧(30a)如此地布置在所述保持部(10)处,使得所述第一跷动结构(26a)关于所述保持部(10)能够进入围绕预先给定的第一转动轴线(32a)的第一跷动运动中。
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公开(公告)号:CN102434689A
公开(公告)日:2012-05-02
申请号:CN201110298828.6
申请日:2011-09-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor: B.施密特
IPC: F16K15/02
CPC classification number: F16J15/106 , F15B13/027 , F16J15/04 , F16K15/026
Abstract: 本发明公开一种密封套装置和一种具有这种类型的密封套装置的液压装置,或者液压阀。这种密封套装置在端面上具有环形密封表面,这个密封表面靠在密封边缘上。
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