公开(公告)号：CN102792169B

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：CN201180014220.4

申请日：2011-01-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R.诺伊尔 ,  C.雷蒂希 ,  A.特劳特曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  A.鲁曼 ,  M.恩格泽 ,  A.费伊

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12

CPC classification number: G01P15/09 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/12 ,  G01P15/123

Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有：衬底（1）；在衬底（1）上能偏转地悬挂的抗震质量（3）；至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’），所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化；其中压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’）具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线（2a，2b；2a’,2b’），所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中；以及测量装置（M1；M2；M1’;M1’’），该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化，所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。

公开(公告)号：CN103154746B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201180050620.0

申请日：2011-09-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A.费伊 ,  C.莱嫩巴赫 ,  A.弗兰克 ,  G.奥布赖恩

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明涉及一种用于测量加速度，压力或类似量的微机械的装置。它包括具有至少一个固定的电极的衬底，可运动地布置在衬底处的惯性质量，布置在惯性质量处的至少一个接地电极，和用于将惯性质量返回到初始位置的复位机构，其中，固定的电极和接地电极被设计在一个测量平面中，用于测量在该测量平面中的加速度，压力或类似量，和其中，固定的电极和接地电极被设计用于测量垂直于测量平面地作用于惯性质量上的加速度，压力或类似量。本发明也涉及一种相应的方法和一种相应的用途。

公开(公告)号：CN103288036A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310056432.X

申请日：2013-02-22

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： O.雅科夫莱夫 ,  A.布曼 ,  A.费伊

IPC: B81B7/00 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0292 ,  B81C1/00698

Abstract: 本发明提供了一种具有可动栅极的微机械传感器装置和相应的制造方法。具有可动栅极的微机械传感器装置具有：场效应晶体管，该场效应晶体管带有漏极区域（3）、源极区域（4）、具有第一掺杂类型的位于其间的沟道区域（7）和可动栅极（1），该可动栅极通过空隙（Z）与沟道区域（7）分离。漏极区域（3）、源极区域（4）和沟道区域（7）设置在衬底（2）中。至少在沟道区域（7）的纵向侧（S1，S2）上在衬底（2）中设置防护区域（8；8a，8b），其具有第二掺杂类型，该第二掺杂类型与第一掺杂类型相同并且具有比第一掺杂类型高的掺杂浓度。

公开(公告)号：CN102792169A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180014220.4

申请日：2011-01-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R.诺伊尔 ,  C.雷蒂希 ,  A.特劳特曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  A.鲁曼 ,  M.恩格泽 ,  A.费伊

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12

CPC classification number: G01P15/09 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/12 ,  G01P15/123

Abstract: 本发明涉及一种压阻微机械传感器器件和相应的测量方法。该压阻微机械传感器器件具有：衬底（1）；在衬底（1）上能偏转地悬挂的抗震质量（3）；至少一个设置在衬底与抗震质量之间的压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’），所述至少一个压阻横梁在抗震质量偏转时经历电阻变化；其中压阻横梁（1a，1b；1a’,1b’）具有侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线（2a，2b；2a’,2b’），所述印制导线至少部分地覆盖压阻横梁并且一直延伸到衬底的区域中；以及测量装置（M1；M2；M1’;M1’’），该测量装置电连接到衬底和印制导线并且构成为用于测量通过电路路径上的电阻变化，所述电路路径从衬底通过压阻横梁并且从压阻横梁通过侧面的和/或上侧的和/或下侧的印制导线分布。

公开(公告)号：CN105393096B

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201480032219.8

申请日：2014-05-27

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A.费伊

IPC: G01J1/42 ,  G01J5/20 ,  H01L27/14 ,  H01L31/101

CPC classification number: G01J5/20 ,  G01J1/42 ,  H01L31/1136

Abstract: 本发明涉及一种由场效应晶体管构成的红外传感器（100），具有半导体衬底（117），该衬底具有漏极接点（110）和源极接点，其中，所述漏极接点（110）通过通道区（105）与源极接点（115）分开。该传感器（100）还包括一个栅极单元（125），它关于通道区（105）可活动地构成并且设置在这个通道区上面，其中所述栅极单元（125）设计成，响应接收的电磁辐射（135）改变栅极单元的形状和/或栅极单元（125）的至少一部分（140）与通道区（105）的距离（d）。

公开(公告)号：CN105393096A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201480032219.8

申请日：2014-05-27

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A.费伊

IPC: G01J1/42 ,  G01J5/20 ,  H01L27/14 ,  H01L31/101

CPC classification number: G01J5/20 ,  G01J1/42 ,  H01L31/1136

Abstract: 本发明涉及一种由场效应晶体管构成的红外传感器（100），具有半导体衬底（117），该衬底具有漏极接点（110）和源极接点，其中，所述漏极接点（110）通过通道区（105）与源极接点（115）分开。该传感器（100）还包括一个栅极单元（125），它关于通道区（105）可活动地构成并且设置在这个通道区上面，其中所述栅极单元（125）设计成，响应接收的电磁辐射（135）改变栅极单元的形状和/或栅极单元（125）的至少一部分（140）与通道区（105）的距离（d）。

公开(公告)号：CN103154746A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201180050620.0

申请日：2011-09-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A.费伊 ,  C.莱嫩巴赫 ,  A.弗兰克 ,  G.奥布赖恩

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01L1/14

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明涉及一种用于测量加速度，压力或类似量的微机械的装置。它包括具有至少一个固定的电极的衬底，可运动地布置在衬底处的惯性质量，布置在惯性质量处的至少一个接地电极，和用于将惯性质量返回到初始位置的复位机构，其中，固定的电极和接地电极被设计在一个测量平面中，用于测量在该测量平面中的加速度，压力或类似量，和其中，固定的电极和接地电极被设计用于测量垂直于测量平面地作用于惯性质量上的加速度，压力或类似量。本发明也涉及一种相应的方法和一种相应的用途。