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公开(公告)号：CN117083702A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280023991.8
申请日：2022-03-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 公开了一种输送设备，该输送设备设计用于借助运输体输送一个或者多个有效载荷、尤其是晶片。运输体能够以悬浮的方式在定子的运输面的上方运动和定位。优选地，该运动和该定位相对于全部六个自由度进行。运输体具有能够运动的悬臂或者能够运动的操纵器或者能够运动的机器人臂。在该运输体的终端执行器处能够存放或者固定有效载荷。在扩展方案中，也能够对有效载荷进行加工和/或检查。所述加工和/或检查也能够由同一输送设备的另外的运输体的终端执行器来实施。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112236851B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN201980039272.3
申请日：2019-05-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H01L21/677 , G03F7/20 , H02K41/03 , H02N15/00 , F16C32/04
Abstract: 本发明涉及一种用于运送至少一个晶片（36）的运送装置（10），其具有至少一个输送本体（200），其中所述输送本体（200）至少设置用于承载或保持晶片（36），并且其中所述运送装置（10）设置用于在运送面（35）上至少二维地使得所述至少一个输送本体（200）运动。
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公开(公告)号：CN112236851A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201980039272.3
申请日：2019-05-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H01L21/677 , G03F7/20 , H02K41/03 , H02N15/00 , F16C32/04
Abstract: 本发明涉及一种用于运送至少一个晶片（36）的运送装置（10），其具有至少一个输送本体（200），其中所述输送本体（200）至少设置用于承载或保持晶片（36），并且其中所述运送装置（10）设置用于在运送面（35）上至少二维地使得所述至少一个输送本体（200）运动。
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公开(公告)号：CN116323291A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180065692.6
申请日：2021-08-31
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B60L13/06
Abstract: 公开了一种传送装置，其设计用于同时传送多个有效负载、特别是晶片，其中，每个有效负载分配有一个传输体(移动器)，所述传输体能够在定子的表面上以浮动方式移动和定位。移动和定位关于所有六个自由度发生。在此传输体和配属的有效负载容纳在密封的传输空间中。定子布置在密封的传输空间下方。传输空间的底部平行于定子的表面布置在定子上方。传输体的相应的壳体优选同样是密封的。
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公开(公告)号：CN107667064B
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201680030599.0
申请日：2016-05-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种运输装置，包括至少一个移动器(20)，该移动器包括至少一个磁体(19)、优选永磁体并且与驱动面(13)共同作用，使得所述移动器(20)能够相对于所述驱动面(13)在至少两个自由度上能移动和/或能转动地运动，其特征在于，设置有至少一个保护装置(40)，该保护装置布置在所述驱动面(13)和所述移动器(20)之间。
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公开(公告)号：CN107667064A
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201680030599.0
申请日：2016-05-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种运输装置，包括至少一个移动器(20)，该移动器包括至少一个磁体(19)、优选永磁体并且与驱动面(13)共同作用，使得所述移动器(20)能够相对于所述驱动面(13)在至少两个自由度上能移动和/或能转动地运动，其特征在于，设置有至少一个保护装置(40)，该保护装置布置在所述驱动面(13)和所述移动器(20)之间。
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