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公开(公告)号：CN117083702A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280023991.8
申请日：2022-03-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 公开了一种输送设备，该输送设备设计用于借助运输体输送一个或者多个有效载荷、尤其是晶片。运输体能够以悬浮的方式在定子的运输面的上方运动和定位。优选地，该运动和该定位相对于全部六个自由度进行。运输体具有能够运动的悬臂或者能够运动的操纵器或者能够运动的机器人臂。在该运输体的终端执行器处能够存放或者固定有效载荷。在扩展方案中，也能够对有效载荷进行加工和/或检查。所述加工和/或检查也能够由同一输送设备的另外的运输体的终端执行器来实施。
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