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公开(公告)号：CN105966070A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610136485.6
申请日：2016-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14 , B41J2/14233 , B41J2002/14362 , B41J2002/14491 , B41J2/01
Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置，该MEMS装置能够更加切实地对驱动电路与配线图案进行连接，从而能够对压力产生单元进行驱动，所述液体喷射头能够实施可靠性较高的液体的喷出。所述MEMS装置具备：保护基板(30)，其上安装有对压电致动器(300)进行驱动的驱动电路(120)，并形成有与驱动电路(120)电连接的配线图案(110)；密封基板，其具有第一开口(45)，并隔着配线图案(110)的一部分且通过粘合剂(46)而与保护基板(30)粘合，配线图案(110)从保护基板(30)与密封基板(40)通过粘合剂(46)而被粘合的粘合区域(130)起向第一开口(45)延伸，并具有连接部(112)，所述连接部(112)具备与驱动电路(120)电连接的连接区域(115)，连接部(112)在粘合区域(130)与连接部(112)的分界(140)和连接区域(115)之间形成有槽(114)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104044346B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201410088461.9
申请日：2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/047 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14491 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/081 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电体层封入损坏的液体喷射头及液体喷射装置、压电元件及其制造方法。其具备：流道形成基板（10）和压电元件（300），该流道形成基板（10）具有连通于喷嘴开口的压力产生室，该压电元件（300）具有设于该流道形成基板的一侧的第一电极（60）、含有铅、钛、锆的压电体层（70）以及第二电极80，所述第二电极具备设于所述压电体层侧的第一层（81）和设在该第一层的与所述压电体层的相反侧的第二层（82）；其中，在所述第二电极的与所述压电体层相反侧设有由包含于所述压电体层中的铅聚集而成的多个凸部。
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公开(公告)号：CN103240994A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310042767.6
申请日：2013-01-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备：基板，其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其具有压电体层、第一电极以及第二电极，其中，所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成，所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成，所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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公开(公告)号：CN105966070B
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201610136485.6
申请日：2016-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14 , B41J2/14233 , B41J2002/14362 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置，该MEMS装置能够更加切实地对驱动电路与配线图案进行连接，从而能够对压力产生单元进行驱动，所述液体喷射头能够实施可靠性较高的液体的喷出。所述MEMS装置具备：保护基板(30)，其上安装有对压电致动器(300)进行驱动的驱动电路(120)，并形成有与驱动电路(120)电连接的配线图案(110)；密封基板，其具有第一开口(45)，并隔着配线图案(110)的一部分且通过粘合剂(46)而与保护基板(30)粘合，配线图案(110)从保护基板(30)与密封基板(40)通过粘合剂(46)而被粘合的粘合区域(130)起向第一开口(45)延伸，并具有连接部(112)，所述连接部(112)具备与驱动电路(120)电连接的连接区域(115)，连接部(112)在粘合区域(130)与连接部(112)的分界(140)和连接区域(115)之间形成有槽(114)。
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公开(公告)号：CN103240994B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310042767.6
申请日：2013-01-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/045 , B41J2/14201 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , B41J2002/14491 , H01L41/0471 , H01L41/0805
Abstract: 本发明涉及一种液体喷射头及液体喷射装置，其防止压电体层中的裂纹等不良的产生。所述液体喷射头具备：基板，其形成有与喷嘴开口连通的压力产生室；压电元件，其具有压电体层、第一电极以及第二电极，其中，所述第一电极在所述压电体层的所述基板侧以与所述压力产生室相对应的方式而形成，所述第二电极在所述压电体层的、形成有第一电极的一侧的相反侧以遍及多个所述压力产生室的方式而形成，所述第二电极以在所述压力产生室的长度方向上延伸至所述压力产生室的外侧的方式而形成。
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公开(公告)号：CN104044346A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410088461.9
申请日：2014-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/047 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14491 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/081 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电体层封入损坏的液体喷射头及液体喷射装置、压电元件及其制造方法。其具备：流道形成基板（10）和压电元件（300），该流道形成基板（10）具有连通于喷嘴开口的压力产生室，该压电元件（300）具有设于该流道形成基板的一侧的第一电极（60）、含有铅、钛、锆的压电体层（70）以及第二电极80，所述第二电极具备设于所述压电体层侧的第一层（81）和设在该第一层的与所述压电体层的相反侧的第二层（82）；其中，在所述第二电极的与所述压电体层相反侧设有由包含于所述压电体层中的铅聚集而成的多个凸部。
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