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公开(公告)号：CN101327683A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200710307636.0
申请日：2007-10-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/318 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种下电极和基底与氧化锆层的结合力优良的致动器装置的制造方法以及致动器装置和液体喷射头。包括在基板的一侧面形成Zr层的工序，对该Zr层进行氧化以形成ZrO2层的工序、在所述ZrO2层上形成下电极的工序、在所述下电极上形成压电体层的工序和在所述压电体层上形成上电极的工序，其特征在于在形成所述Zr层的工序中，在使Zr结晶成长形成的同时，成膜以形成Zr层，所述Zr层在与所述基板相反侧的表面上具有高度为10－100nm、俯视大小为直径0.1－1μm的突出的特别结晶区域，所述特别结晶区域的密度为1.0×106－1.0×108个/cm2。
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公开(公告)号：CN100461481C
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200610066954.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了一种其中压电层结晶性被改善且具有均一压电层特性的压电元件、使用该压电元件的液体喷射头以及液体喷射设备。该压电元件包括：设置到衬底的一个表面侧的下电极；压电层，所述压电层由包含铅(Pb)、锆(Zr)和钛(Ti)的压电材料制成，并且设置在所述下电极上；和设置在所述压电层上的上电极，并且在该压电元件中，压电层的相对介电常数为750～1500，压电层的矫顽电场为10～40kV/cm。
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公开(公告)号：CN1323841C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200410095567.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80%以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。
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公开(公告)号：CN1841805A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610066954.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了一种其中压电层结晶性被改善且具有均一压电层特性的压电元件、使用该压电元件的液体喷射头以及液体喷射设备。该压电元件包括：设置到衬底的一个表面侧的下电极；压电层，所述压电层由包含铅(Pb)、锆(Zr)和钛(Ti)的压电材料制成，并且设置在所述下电极上；和设置在所述压电层上的上电极，并且在该压电元件中，压电层的相对介电常数为750～1500，压电层的矫顽电场为10～40kV/cm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1838445A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610065141.7
申请日：2006-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
IPC: H01L41/24 , H01L41/09 , H01L41/187 , B41J2/14 , B41J2/045
Abstract: 本发明公开了一种具有高耐受电压和更长的耐久性寿命的压电元件、该压电元件的制造方法、一种液体喷射头、该液体喷射头的制造方法和一种液体喷射设备。该压电元件的制造方法包括如下步骤：通过在下电极上形成压电前驱体膜并且通过随后在650℃到750℃下将所述压电前驱体膜烘焙半个小时到三个小时，来形成压电层，其中在所述压电前驱体膜中包含Pb、Zr和Ti，并且在所述前驱体膜被烘焙之后Pb、Zr和Ti的组成比变为Pb/(Zr+Ti)＝1.0～1.3，并且选自由锰、镍和锶组成的组中的至少一种掺杂剂被掺杂到所述压电前驱体膜；以及在所述压电层上形成上电极。
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公开(公告)号：CN101879814B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201010143225.4
申请日：2010-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1629 , B41J2/1646 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供能够抑制因压电元件从基板受到的长度方向拉伸应力而导致压电体层产生裂纹的、液体喷射头的制造方法、液体喷射头和液体喷射装置。在流路形成基板(10)上，形成基准方向的宽度比正交方向的宽度长的压电元件(300)。在比常温低的温度，把喷嘴板(20)接合在流路形成基板(10)的与压电元件(300)相反侧的面上。作为喷嘴板(20)，使用下述喷嘴板，即，与流路形成基板(10)接合的接合面中的、第1方向上的第1热膨胀系数，比第2方向上的第2热膨胀系数小，并且，第1热膨胀系数比流路形成基板(10)的热膨胀系数小。将喷嘴板(20)的第1方向与基准方向一致地进行接合。
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公开(公告)号：CN100577424C
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200710088474.6
申请日：2007-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0973 , H01L41/319 , H04R17/00 , H04R31/00 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供防止振动板发生剥离，耐久性与可靠性提高的促动器装置制造方法及具有由该方法形成的促动器装置的喷墨式记录头。该促动器装置具备：设于衬底一面上的振动板、及经由该振动板设置的下电极、压电体层及上电极构成的压电元件，该促动器装置的制造方法的特征在于，至少具有：振动板形成工序，其至少包括在所述衬底的一面侧形成柱状晶构成并且其表面的晶粒粒径平均为20～50nm并且XRD图案的(002)面峰值的半价宽度为0.4以下的锆层，对该锆层进行热氧化以使形成柱状晶构成并且其表面的晶粒粒径平均为20～50nm的氧化锆从而形成构成所振动板的一部分的绝缘体膜的工序；在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序。
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公开(公告)号：CN100479218C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200610065141.7
申请日：2006-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
IPC: H01L41/24 , H01L41/09 , H01L41/187 , B41J2/14 , B41J2/045
Abstract: 本发明公开了一种具有高耐受电压和更长的耐久性寿命的压电元件、该压电元件的制造方法、一种液体喷射头、该液体喷射头的制造方法和一种液体喷射设备。该压电元件的制造方法包括如下步骤：通过在下电极上形成压电前驱体膜并且通过随后在650℃到750℃下将所述压电前驱体膜烘焙半个小时到三个小时，来形成压电层，其中在所述压电前驱体膜中包含Pb、Zr和Ti，并且在所述前驱体膜被烘焙之后Pb、Zr和Ti的组成比变为Pb/(Zr+Ti)大于1.0且不超过1.3，并且选自由锰、镍和锶组成的组中的至少一种掺杂剂被掺杂到所述压电前驱体膜；以及在所述压电层上形成上电极。
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公开(公告)号：CN1890103A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200480035810.5
申请日：2004-12-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 公开了一种制造致动器装置的方法和液体喷射装置，其通过防止振动板分离而实现了提高的耐久性和可靠性。该方法包括在衬底的一侧上制造振动板的步骤以及在该振动板上制造由下电极、压电层和上电极构成的压电元件的步骤。振动板制造步骤包括绝缘膜形成子步骤，在该子步骤中通过溅射在衬底的所述一侧上形成锆层，将具有锆层的衬底以200mm/min或更大的速度插入加热到700℃以上的热氧化炉而使锆层热氧化，由此形成氧化锆绝缘膜。
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