公开(公告)号：CN1323841C

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：CN200410095567.8

申请日：2004-11-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 李欣山 ,  风间宏信 ,  村井正已 ,  角浩二 ,  伊藤牧 ,  横内俊昭

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/01

CPC classification number: B41J2/1632 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/314 ,  H01L41/319 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80%以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。

公开(公告)号：CN1621233A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：CN200410095567.8

申请日：2004-11-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 李欣山 ,  风间宏信 ,  村井正已 ,  角浩二 ,  伊藤牧 ,  横内俊昭

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/01

CPC classification number: B41J2/1632 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/314 ,  H01L41/319 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80％以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。