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公开(公告)号：CN106236139B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201610698500.6
申请日：2013-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西胁学
IPC: A61B8/00
CPC classification number: H04B11/00 , B06B1/0629 , H01L41/0475 , H04R29/008
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置。其中，超声波换能器装置包括：第一基板，形成有配置成阵列状的多个开口；超声波换能器元件，在俯视下设置于各个所述开口；第二基板，与所述第一基板连结，并具有第一配线；以及配线部件，具有使所述超声波换能器元件和所述第一配线相互电连接的第二配线。
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公开(公告)号：CN102192805A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110035214.9
申请日：2011-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西胁学
CPC classification number: B25J13/083 , G01L5/167 , G01L5/228
Abstract: 本发明公开了应力检测元件、触觉传感器以及抓持装置，该应力检测元件包括：具有矩形开口部的支撑体；支撑膜，具有可挠性，形成于支撑体上，用于封闭开口部；第一压电体，在俯视支撑体时，沿开口部的一边，横跨开口部的内侧和外侧而设置；第二压电体，在俯视支撑体时，在开口部内侧，设置在与第一压电体分离的位置上；以及弹性膜，覆盖第一压电体、第二压电体及支撑膜。
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公开(公告)号：CN103356232A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310105467.8
申请日：2013-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: A61B8/4444 , A61B8/4494 , A61B8/461 , A61B8/462 , B06B1/0622 , B06B1/0688
Abstract: 本发明提供一种超声波探测器、电子设备以及超声波诊断装置。该超声波探测器具有：元件芯片，包括在基板上阵列状配置的设置于开口上的超声波换能器元件；柔性配线部件，与所述元件芯片连接并形成环绕空间的环状体；以及控制电路，与所述柔性配线部件相结合，并与所述超声波换能器元件电连接。
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公开(公告)号：CN103284755A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310052062.2
申请日：2013-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西胁学
IPC: A61B8/00
CPC classification number: H04B11/00 , B06B1/0629 , H01L41/0475 , H04R29/008
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置。其中，超声波换能器装置包括：基板，形成有配置成阵列状的多个开口；超声波换能器元件，设置于各个所述开口；配线基板，与所述基板的第二面相对配置，并具有第一配线，所述基板的第二面为与设置有所述超声波换能器元件的所述基板的第一面相反的一侧的面；以及配线部件，与所述基板和所述配线基板连接，具有使所述超声波换能器元件和所述第一配线相互电连接的第二配线。
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公开(公告)号：CN100478179C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200610109730.0
申请日：2006-08-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种可以保持良好的压电体层的压电特性并且可以防止上电极剥离的致动器装置及其制造方法、以及液体喷射头和液体喷射装置。所述方法具有在基板上形成振动板的步骤以及在振动板上形成由下电极、压电体层、和上电极构成的压电元件的步骤，在形成压电元件的步骤中，通过溅射法在压电体层上形成上电极，使溅射时的温度为25～250(℃)、压力为0.4～1.5(Pa)，由此，形成厚度为30～100(nm)、应力为0.3～2.0(GPa)、且电阻率为2.0(×10-7Ω·m)以下的上电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109484029B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201811041580.3
申请日：2018-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供液体喷出头、液体喷出装置、压电设备以及超声波传感器。即使在于高温下对压电元件进行烧成的情况下，也能够抑制振动板与压电元件的剥离。振动板(36)包括氮氧化硅层361。氮氧化硅层(361)为以含有氮氧化硅的方式而形成的层。氧的含量越多则氮氧化硅层(361)的线膨胀系数越减小，而氮的含量越多则氮氧化硅层(361)的线膨胀系数越增大。氮氧化硅层(361)的线膨胀系数大于氧化硅的线膨胀系数＝0.5×10‑6/K，并且接近于第一电极(51)的线膨胀系数＝8.9×10‑6/K。因此，与在振动板(36)的材料中采用氧化硅的情况相比，通过使用包含氮氧化硅层(361)的振动板(36)，从而即使在于高温条件下烧成压电元件(38)的情况下，也能够抑制压电元件(38)与振动板(36)的剥离。
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公开(公告)号：CN104078452B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410116108.7
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B06B1/0629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明提供能够使发送部以及接收部双方的灵敏度均提高的压电元件模块、超声波换能器、超声波设备、液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件模块的制造方法。在同一基板（310）上具备具有第一压电体层（371）的第一压电元件、和具有与上述第一压电体层不同的第二压电体层（372）的第二压电元件，且上述第一压电体层的d常量比上述第二压电体层的d常量大。
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公开(公告)号：CN103284755B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310052062.2
申请日：2013-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西胁学
IPC: A61B8/00
CPC classification number: H04B11/00 , B06B1/0629 , H01L41/0475 , H04R29/008
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置。其中，超声波换能器装置包括：基板，形成有配置成阵列状的多个开口；超声波换能器元件，设置于各个所述开口；配线基板，与所述基板的第二面相对配置，并具有第一配线，所述基板的第二面为与设置有所述超声波换能器元件的所述基板的第一面相反的一侧的面；以及配线部件，与所述基板和所述配线基板连接，具有使所述超声波换能器元件和所述第一配线相互电连接的第二配线。
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公开(公告)号：CN102192805B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201110035214.9
申请日：2011-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西胁学
CPC classification number: B25J13/083 , G01L5/167 , G01L5/228
Abstract: 本发明公开了应力检测元件、触觉传感器以及抓持装置，该应力检测元件包括：具有矩形开口部的支撑体；支撑膜，具有可挠性，形成于支撑体上，用于封闭开口部；第一压电体，在俯视支撑体时，沿开口部的一边，横跨开口部的内侧和外侧而设置；第二压电体，在俯视支撑体时，在开口部内侧，设置在与第一压电体分离的位置上；以及弹性膜，覆盖第一压电体、第二压电体及支撑膜。
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公开(公告)号：CN103654848A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310379245.5
申请日：2013-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西胁学
CPC classification number: A61B8/4483 , A61B8/4494 , B06B1/0215 , B06B1/0629 , B06B2201/76
Abstract: 本发明涉及超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置。其中，上述超声波换能器装置的特征在于，具备：基板，具有多个开口；振动膜，闭塞上述开口；压电元件，针对每个上述开口地设置在上述振动膜上；输入部，对上述压电元件中的一部分压电元件输入驱动信号；以及检测部，在对上述压电元件中的一部分压电元件输入驱动信号期间，该检测部检测上述压电元件中未输入上述驱动信号的压电元件的振动。
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