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公开(公告)号：CN1577911A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410050093.5
申请日：2004-07-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , F27B17/0025 , F27D5/0037 , H01L41/318 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供了一种可使铁电前驱体膜可靠脱脂并可获得良好结晶性的压电层的形成方法和其所使用的加热装置、以及具有良好结晶性的压电层和压电元件。本发明的压电层的形成方法包括：干燥工序，在衬底的下电极上至少形成一层铁电前驱体膜并使铁电前驱体膜干燥；脱脂工序，将衬底导入与被加热到一定温度的热板相对的区域，在由接近栓支承的状态下对铁电前驱体膜进行脱脂；烧结工序，将脱脂的铁电前驱体膜进一步烧结作为铁电膜；以及，通过重复进行预定次数的铁电前驱体膜的干燥工序、脱脂工序及烧结工序来形成压电层，并在进行脱脂工序时，调节热板与衬底之间的间隔，同时冷却与衬底的热板相反侧的空间温度，从而调节铁电前驱体膜的加热温度的工序。
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公开(公告)号：CN1323841C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200410095567.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80%以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。
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公开(公告)号：CN100433396C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200410050093.5
申请日：2004-07-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , F27B17/0025 , F27D5/0037 , H01L41/318 , Y10T29/42 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供了一种可使铁电前驱体膜可靠脱脂并可获得良好结晶性的压电层的形成方法和其所使用的加热装置、以及具有良好结晶性的压电层和压电元件。本发明的压电层的形成方法包括：干燥工序，在衬底的下电极上至少形成一层铁电前驱体膜并使铁电前驱体膜干燥；脱脂工序，将衬底导入与被加热到一定温度的热板相对的区域，在由接近栓支承的状态下对铁电前驱体膜进行脱脂；烧结工序，将脱脂的铁电前驱体膜进一步烧结作为铁电膜；以及，通过重复进行预定次数的铁电前驱体膜的干燥工序、脱脂工序及烧结工序来形成压电层，并在进行脱脂工序时，调节热板与衬底之间的间隔，同时冷却与衬底的热板相反侧的空间温度，从而调节铁电前驱体膜的加热温度的工序。
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公开(公告)号：CN1621233A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200410095567.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80％以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。
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