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公开(公告)号:CN100584995C
公开(公告)日:2010-01-27
申请号:CN200510127411.8
申请日:2005-12-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 村井正己
CPC classification number: C23C14/3414 , B41J2/161 , B41J2/1646
Abstract: 本发明公开了一种溅射靶,其通过辊压包括铂的金属材料以形成具有预定厚度的金属板并且加热所述所述金属板以进行重结晶来获得,所述溅射靶具有沿平面方向和厚度方向中的任意方向各向同性的结晶织态结构,并且具有60或者更低的维氏硬度最大值。本发明还公开了一种用于制备溅射靶的方法、一种溅射装置以及一种液体喷射头。
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公开(公告)号:CN101192045A
公开(公告)日:2008-06-04
申请号:CN200710196034.2
申请日:2007-11-28
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 国立大学法人信州大学
IPC: G04B31/08
Abstract: 本发明提供一种钟表部件及具有该钟表部件的钟表,所述钟表部件可飞跃性地提高摩擦滑动部和切换部的耐磨损性、润滑性及保油性,而且使钟表可长时间使用。电子控制式机械钟表的三号轮(7)其上下的枢轴部分由组装在轮系夹板及主板(2)上的宝石轴承(50)承载。三号轮具有三号小齿轮(71)和在三号轮的下部位置设置的下枢轴(72)。宝石轴承由在中央形成有枢轴孔(51)的红宝石等构成。三号小齿轮及下枢轴的表面由复合镀层(73)覆盖。复合镀层具有:由通过电镀处理而形成的镍镀层(74);和在镍镀层上使用聚丙烯酸等分散剂而无定向地形成的碳纳米管层(75)。因此,三号小齿轮及下枢轴与枢轴孔隔着碳纳米管层地滑动。
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公开(公告)号:CN1177693C
公开(公告)日:2004-12-01
申请号:CN03103418.7
申请日:2003-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 村井正己
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/318
Abstract: 一种压电体元件,通过在ZrO2膜(32)上依次叠加下部电极(42)(含有Ir)、4nm~6nm的Ti层、压电体薄膜(43)、以及上部电极(44),并将压电体薄膜形成时的环境湿度控制在30%Rh以下,从而稳定且再现性良好地形成一种通过X射线衍射广角法测量的压电体膜(43)的100面取向度为70%以上、110面取向度为10%以下、111面取向度为它们的剩余部分的压电体膜。实现了具有稳定的高压电特性的压电体元件及液体喷头。
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公开(公告)号:CN1435320A
公开(公告)日:2003-08-13
申请号:CN03103418.7
申请日:2003-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 村井正己
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/318
Abstract: 一种压电体元件,通过在ZrO2膜(32)上依次叠加下部电极(42)(含有Ir)、4nm~6nm的Ti层、压电体薄膜(43)、以及上部电极(44),并将压电体薄膜形成时的环境湿度控制在30%Rh以下,从而稳定且再现性良好地形成一种通过X射线衍射广角法测量的压电体膜(43)的100面取向度为70%以上、110面取向度为10%以下、111面取向度为它们的剩余部分的压电体膜。实现了具有稳定的高压电特性的压电体元件及液体喷头。
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公开(公告)号:CN101504533A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200910004320.3
申请日:2009-02-06
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 国立大学法人信州大学
IPC: G04B31/08
Abstract: 本发明涉及接触部件及具有该部件的钟表,本发明的接触部件中,复合镀层(160)具有从镍镀层(N)露出的石墨粒子(G),石墨粒子(G)通过相对于对象部件的滑动而被沿着镍镀层(N)的表面压延,从而形成大致为层状的石墨露出部(162)。据此能够充分发挥石墨的润滑性。此外,通过压延,石墨露出部(162)与被膜部(161)密合,因此可以使大致为层状的石墨露出部(162)得到长时间的维持。并且,对于复合镀层(160)来说,只需将石墨粒子(G)混入到镀液中进行镀覆处理就能够容易地得到。因此,可以低成本地大幅提高离合杆及拨针杆等中的切换部和转子等中的滑动部的耐磨损性。
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公开(公告)号:CN100461481C
公开(公告)日:2009-02-11
申请号:CN200610066954.8
申请日:2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了一种其中压电层结晶性被改善且具有均一压电层特性的压电元件、使用该压电元件的液体喷射头以及液体喷射设备。该压电元件包括:设置到衬底的一个表面侧的下电极;压电层,所述压电层由包含铅(Pb)、锆(Zr)和钛(Ti)的压电材料制成,并且设置在所述下电极上;和设置在所述压电层上的上电极,并且在该压电元件中,压电层的相对介电常数为750~1500,压电层的矫顽电场为10~40kV/cm。
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公开(公告)号:CN1841805A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610066954.8
申请日:2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了一种其中压电层结晶性被改善且具有均一压电层特性的压电元件、使用该压电元件的液体喷射头以及液体喷射设备。该压电元件包括:设置到衬底的一个表面侧的下电极;压电层,所述压电层由包含铅(Pb)、锆(Zr)和钛(Ti)的压电材料制成,并且设置在所述下电极上;和设置在所述压电层上的上电极,并且在该压电元件中,压电层的相对介电常数为750~1500,压电层的矫顽电场为10~40kV/cm。
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公开(公告)号:CN1606503A
公开(公告)日:2005-04-13
申请号:CN03801750.4
申请日:2003-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 村井正己
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供一种使用能够通过外加驱动电压而得到充分的位移的压电元件的液体喷出头。在具有形成有压力室(21)的基板(20)、在基板上形成的振动板(30)、在振动板上形成的压电薄膜元件(40)的液体喷出头中,所述振动板向所述压力室一侧凸出地挠曲,所述振动板的挠曲量为所述压力室的宽度(W)的0.4%以下。
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公开(公告)号:CN101246948B
公开(公告)日:2010-10-13
申请号:CN200810007370.2
申请日:2003-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 村井正己
Abstract: 本发明提供一种压电元件及使用该压电元件的液体喷头,其中所述压电元件可以得到良好的结晶性,并可提高其均匀性,此外,可以防止压电膜的破坏,从而可以得到稳定的位移特性。本发明的压电元件具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极,其特征在于,所述压电膜具有柱状结晶,该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大,所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。
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公开(公告)号:CN101246948A
公开(公告)日:2008-08-20
申请号:CN200810007370.2
申请日:2003-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 村井正己
Abstract: 本发明提供一种压电元件及使用该压电元件的液体喷头,其中所述压电元件可以得到良好的结晶性,并可提高其均匀性,此外,可以防止压电膜的破坏,从而可以得到稳定的位移特性。本发明的压电元件具有下电极、在下电极上形成的压电膜、在所述压电膜上形成的上电极,其特征在于,所述压电膜具有柱状结晶,该柱状结晶在所述上电极侧的结晶粒径比在所述下电极侧大,所述压电膜的规定面取向的取向度比其他面取向的取向度高。
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