液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件

    公开(公告)号:CN117124732A

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202310582136.7

    申请日:2023-05-22

    Abstract: 本发明提供一种能够在振动板的腕部处维持振动板的可靠性且抑制振动效率的降低的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。振动板包括:第一层,其包含硅以作为构成元素;第二层,其包含锆以外的金属元素以作为构成元素;第三层,其包含锆以作为构成元素,在将振动板中的在沿第一方向观察时与压力室重叠且与第一电极、压电体层以及第二电极重叠的区域设为有源区域,将振动板中的在沿第一方向观察时与压力室重叠且与第一电极、压电体层以及第二电极不重叠的区域设为无源区域时,振动板在有源区域中具有第一层、第二层和第三层,在无源区域的至少一部分中具有第一层和第二层且不具有第三层。

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