振动装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105210295B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201480026898.8

    申请日:2014-05-01

    CPC classification number: H03H9/21 H01L41/0478

    Abstract: 本发明提供可进一步减小频率温度系数TCF的绝对值的振动装置。振动装置(1)是在基部(2)上,在X方向并排有向Y方向延伸的多个音叉臂(3~5),音叉臂(3~5)具有在作为简并半导体的Si层(11)上层叠有氧化硅层(12),在氧化硅层(12)上设置有激发部(13)的构造,在将Si层(11)的厚度的总和设为T1、将氧化硅层(12)的厚度的总和设为T2、将在Si层(11)上未设置有氧化硅层(12)的情况下的频率温度系数TCF设为x时,厚度比T2/(T1+T2)成为(‑0.0002x2‑0.0136x+0.0014)±0.05的范围内。

    振动装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105210295A

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:CN201480026898.8

    申请日:2014-05-01

    CPC classification number: H03H9/21 H01L41/0478

    Abstract: 本发明提供可进一步减小频率温度系数TCF的绝对值的振动装置。振动装置(1)是在基部(2)上,在X方向并排有向Y方向延伸的多个音叉臂(3~5),音叉臂(3~5)具有在作为简并半导体的Si层(11)上层叠有氧化硅层(12),在氧化硅层(12)上设置有激发部(13)的构造,在将Si层(11)的厚度的总和设为T1、将氧化硅层(12)的厚度的总和设为T2、将在Si层(11)上未设置有氧化硅层(12)的情况下的频率温度系数TCF设为x时,厚度比T2/(T1+T2)成为(-0.0002x2-0.0136x+0.0014)±0.05的范围内。

    高温压电元件电极制作方法及压电元件结构

    公开(公告)号:CN103280523A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201310240971.9

    申请日:2013-06-18

    Abstract: 本发明公开了一种高温压电元件电极的制作方法,在成型的压电材料表面镀涂传统导电浆料,然后对该压电材料进行极化,之后再去除其表面镀涂的导电浆料涂层,并与外界电极引线连接,将其压电效应产生的信号输出。本发明公开的高温压电元件结构,包括极化的压电材料,所述极化的压电材料去除了表面的金属导电浆料涂层;所述极化的压电材料表面连接有电极引线,将其压电效应产生的信号输出。上述制作方法及结构,去除了传统的电极浆料涂层,避免在高温下由于电极材料的高温扩散导致压电元件输出电阻减小,改善了压电元件的热性能;增加金刚石或石墨涂层作为电极,提高了压电元件输出电荷的灵敏度。

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