公开(公告)号：CN116917721A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280017885.9

申请日：2022-05-11

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·塞兹希内尔 ,  赵伟 ,  R·威灵福德 ,  G·H·陈 ,  刘旭钊 ,  G·丛 ,  L·余 ,  K·维尔克 ,  张博升 ,  A·帕特尔 ,  P·麦克布赖德

IPC: G01N21/95

Abstract: 一种系统包含通信地耦合到光学晶片特征化系统的检测器阵列的处理单元。所述处理单元经配置以执行包含以下步骤的方法或过程的一或多个步骤：从所述检测器阵列获取晶片上的目标位置的一或多个目标图像；将去噪滤波器应用到至少所述一或多个目标图像；从一或多个参考图像及所述一或多个目标图像确定一或多个差异图像；及上取样所述一或多个差异图像以产生一或多个经上取样图像。可在所述一或多个差异图像或所述经上取样图像中检测一或多个晶片缺陷。