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公开(公告)号：CN107407644B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201680013333.5
申请日：2016-03-04
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明揭示用于将从目标衬底反射的红外到真空紫外VUV光反射朝向传感器的方法及设备。所述系统包含：第一镜，其经布置以接收且反射从所述目标衬底反射的所述红外到VUV光；及第二镜，其经布置以接收且反射由所述第一镜反射的红外到VUV光。所述第一镜及所述第二镜经布置且经塑形以将来自所述目标衬底的红外到VUV光反射朝向所述设备的光轴。在另一实施例中，所述设备还可包含：第三镜，其经布置以接收且反射由所述第二镜反射的所述红外到VUV光；及第四镜，其经布置以接收由所述第三镜反射的此照明光，且将所述照明光反射朝向所述传感器。在又一实施例中，使用反射或折射光学器件，将通过上述光学器件的图像中继到所述传感器；通过调整所述中间图像与所述中继光学器件之间的距离来实现各种放大率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112655070A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201980057387.5
申请日：2019-07-29
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明揭示一种具有灯室校正的等离子体光源。所述系统可包含经配置以产生泵浦照明的泵浦源。可通过椭圆反射器元件将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积以便产生等离子体。所述等离子体可经配置以产生宽带照明。所述系统还可包含经配置以变更所述泵浦照明以校正由所述等离子体灯引入的像差的校正板及/或非球面椭圆反射器元件。所述系统还可包含经配置以变更所述宽带照明以校正由所述系统的光学元件引入的像差的额外非球面校正板。
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公开(公告)号：CN112655070B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN201980057387.5
申请日：2019-07-29
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明揭示一种具有灯室校正的等离子体光源。所述系统可包含经配置以产生泵浦照明的泵浦源。可通过椭圆反射器元件将所述泵浦照明引导到等离子体灯内所围封的气体体积以便产生等离子体。所述等离子体可经配置以产生宽带照明。所述系统还可包含经配置以变更所述泵浦照明以校正由所述等离子体灯引入的像差的校正板及/或非球面椭圆反射器元件。所述系统还可包含经配置以变更所述宽带照明以校正由所述系统的光学元件引入的像差的额外非球面校正板。
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公开(公告)号：CN107407644A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013333.5
申请日：2016-03-04
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01N21/95
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/8845 , G02B13/143 , G02B17/0652 , G03F1/84 , G03F7/7065
Abstract: 本发明揭示用于将从目标衬底反射的红外到真空紫外VUV光反射朝向传感器的方法及设备。所述系统包含：第一镜，其经布置以接收且反射从所述目标衬底反射的所述红外到VUV光；及第二镜，其经布置以接收且反射由所述第一镜反射的红外到VUV光。所述第一镜及所述第二镜经布置且经塑形以将来自所述目标衬底的红外到VUV光反射朝向所述设备的光轴。在另一实施例中，所述设备还可包含：第三镜，其经布置以接收且反射由所述第二镜反射的所述红外到VUV光；及第四镜，其经布置以接收由所述第三镜反射的此照明光，且将所述照明光反射朝向所述传感器。在又一实施例中，使用反射或折射光学器件，将通过上述光学器件的图像中继到所述传感器；通过调整所述中间图像与所述中继光学器件之间的距离来实现各种放大率。
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