公开(公告)号：CN103988290A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201280059757.7

申请日：2012-11-02

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰森·M·夏勒 ,  罗伯特·B·宝佩特 ,  查理斯·T·卡尔森 ,  麦考林·N·丹尼尔 ,  亚隆·P·威波 ,  威廉·T·维弗

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: B65G49/00 ,  B65G47/918 ,  B65G49/061 ,  B65G2203/041 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67754

Abstract: 此工件处理系统的一实施例包括输送带与加载互锁区，第一交换机械臂在建造台与加载互锁区之间持有并传送工件，支架机械臂在每个输送带与第一交换机械臂之间传送工件。在一实例中，利用支架机械臂，将已加工工件从第一交换机械臂传送至第一输送带，并将未加工工件从第二输送带传送至第一交换机械臂。第二交换机械臂可与第一交换机械臂一起用来从加载互锁区负载并卸载工件。

公开(公告)号：CN103415919B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280012699.2

申请日：2012-03-09

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 麦考林·N·丹尼尔 ,  威廉·T·维弗 ,  查理斯·T·卡尔森

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/681 ,  Y10T29/49764 ,  Y10T29/49829 ,  Y10T29/53022 ,  Y10T29/53539

Abstract: 一种对准装置、工件承载设备以及对准方法。所述对准装置具有支架；支架上的二轨条，经组态以使工件通过轨条之间；以及指状物，由支架突出一段距离。指状物经组态以配置于用于工件的载具上。工件可以是太阳能电池且可在输送带上通过所述轨条。当工件承载至载具中时，工件对准装置可移动以将工件对准。

公开(公告)号：CN103415919A

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201280012699.2

申请日：2012-03-09

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 麦考林·N·丹尼尔 ,  威廉·T·维弗 ,  查理斯·T·卡尔森

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/681 ,  Y10T29/49764 ,  Y10T29/49829 ,  Y10T29/53022 ,  Y10T29/53539

Abstract: 一种对准装置，其具有支架；支架上的二轨条，经组态以使工件通过轨条之间；以及指状物，由支架突出一段距离。指状物经组态以配置于用于工件的载具上。工件可以是太阳能电池且可在输送带上通过所述轨条。当工件承载至载具中时，工件对准装置可移动以将工件对准。

公开(公告)号：CN103988290B

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201280059757.7

申请日：2012-11-02

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰森·M·夏勒 ,  罗伯特·B·宝佩特 ,  查理斯·T·卡尔森 ,  麦考林·N·丹尼尔 ,  亚隆·P·威波 ,  威廉·T·维弗

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: B65G49/00 ,  B65G47/918 ,  B65G49/061 ,  B65G2203/041 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67754

Abstract: 此工件处理系统的一实施例包括输送带与加载互锁区，第一交换机械臂在建造台与加载互锁区之间持有并传送工件，支架机械臂在每个输送带与第一交换机械臂之间传送工件。在一实例中，利用支架机械臂，将已加工工件从第一交换机械臂传送至第一输送带，并将未加工工件从第二输送带传送至第一交换机械臂。第二交换机械臂可与第一交换机械臂一起用来从加载互锁区负载并卸载工件。

公开(公告)号：CN104798189A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380059391.8

申请日：2013-09-10

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 罗伯特·布然特·宝佩特 ,  麦考林·N·丹尼尔 ,  尔路奇·伯内卡特 ,  杰森·M·夏勒 ,  查尔斯·T·卡尔森 ,  威廉·T·维弗

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G47/52 ,  B65G43/10 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67727

Abstract: 本发明揭示一种在工件处理系统中用于处理工件的系统及方法。该系统利用三个输送带，其中一个可为载料皮带，由输送带相关的工件托架供给未处理工件到加工系统。第二输送带可为卸料皮带，由加工系统接收已加工的工件，且填满与第二输送带相关的工件托架。此时，第三输送带可交换输送带的工件托架，一旦所有的工件已经由和第一输送带相关的工件托架移除，第三输送带便可开始操作为载料皮带。