公开(公告)号：CN104798189A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380059391.8

申请日：2013-09-10

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 罗伯特·布然特·宝佩特 ,  麦考林·N·丹尼尔 ,  尔路奇·伯内卡特 ,  杰森·M·夏勒 ,  查尔斯·T·卡尔森 ,  威廉·T·维弗

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G47/52 ,  B65G43/10 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67727

Abstract: 本发明揭示一种在工件处理系统中用于处理工件的系统及方法。该系统利用三个输送带，其中一个可为载料皮带，由输送带相关的工件托架供给未处理工件到加工系统。第二输送带可为卸料皮带，由加工系统接收已加工的工件，且填满与第二输送带相关的工件托架。此时，第三输送带可交换输送带的工件托架，一旦所有的工件已经由和第一输送带相关的工件托架移除，第三输送带便可开始操作为载料皮带。