公开(公告)号：CN102687245A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201080046602.0

申请日：2010-10-19

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 班杰明·B·里欧登 ,  尼可拉斯·P·T·贝特曼 ,  查尔斯·T·卡尔森

IPC: H01L21/266

CPC classification number: H01L21/266 ,  H01J37/3172 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 揭示一种移动遮罩以执行衬底的图案化植入的改良方法。所述遮罩具有多个孔隙，且置放于离子源与所述衬底之间。在将所述衬底暴露于离子束之后，将所述遮罩相对于所述衬底指引至新位置且执行后续植入步骤。可经由选择孔隙大小以及形状、指引距离以及植入步骤的数目来产生多种植入图案。在一些实施例中，所述植入图案包含重掺杂水平条带，其中较轻掺杂区域介于所述条带之间。在一些实施例中，所述植入图案包含重掺杂区域的栅格。在其他实施例中，所述植入图案适合于与汇流排结构一起使用。

公开(公告)号：CN104798189A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380059391.8

申请日：2013-09-10

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 罗伯特·布然特·宝佩特 ,  麦考林·N·丹尼尔 ,  尔路奇·伯内卡特 ,  杰森·M·夏勒 ,  查尔斯·T·卡尔森 ,  威廉·T·维弗

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G47/52 ,  B65G43/10 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67727

Abstract: 本发明揭示一种在工件处理系统中用于处理工件的系统及方法。该系统利用三个输送带，其中一个可为载料皮带，由输送带相关的工件托架供给未处理工件到加工系统。第二输送带可为卸料皮带，由加工系统接收已加工的工件，且填满与第二输送带相关的工件托架。此时，第三输送带可交换输送带的工件托架，一旦所有的工件已经由和第一输送带相关的工件托架移除，第三输送带便可开始操作为载料皮带。