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公开(公告)号:CN118767885A
公开(公告)日:2024-10-15
申请号:CN202410754850.4
申请日:2024-06-12
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司 , 中国科学院过程工程研究所
Abstract: 本发明提供一种用于四甲基硅烷电子级分离提纯的改性吸附剂的制备方法及改性吸附剂,将改性剂负载于限域吸附材料性的ZIFs上,形成改性ZIFs吸附剂。本发明的技术方案将具有不同孔道尺寸的类沸石咪唑骨架材料(ZIFs)进行改性,形成限域吸附材料。同时利用该吸附及通过静置吸附法,分离有机硅低沸物,将其中的2‑甲基丁烷脱除,获得电子级四甲基硅烷。利用本发明制备的吸附剂,可大幅提高分离提纯效果,获得超高纯度的电子级四甲基硅烷,技术优势明显。
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公开(公告)号:CN222900278U
公开(公告)日:2025-05-27
申请号:CN202420623663.8
申请日:2024-03-28
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司 , 中国科学院过程工程研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种有机硅低沸物混合体系吸附分离评价装置。原料储罐经进料泵与汽化室的顶部进口端连接,汽化室出口管线分别连接吸附柱顶端和底端;吸附柱顶部出口管线与冷凝器的进口端连接;冷凝器底部出口端与收集罐的进口端连接。所述汽化室、吸附柱外部设置有恒温箱,用于稳定汽化室、吸附柱的温度。通过氮气压力以一定的流速进入到汽化室加热成为气体后以恒温恒速恒压进入到吸附柱中,与吸附柱中的吸附剂接触,当杂质被吸附后,塔顶得到目标产品进入到冷凝器中冷却至液相后通过转向阀进入收集罐。本实用新型的机硅低沸物混合体系吸附分离评价装置可保证有机硅低沸物不和外界接触,且吸附评价稳定性高。
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公开(公告)号:CN119462339A
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202411424723.4
申请日:2024-10-12
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司
IPC: C07C29/74 , B01D36/00 , B01D29/50 , B01J47/04 , B01D3/14 , B01D3/42 , C07C29/76 , C07C29/80 , C07C31/10
Abstract: 一种超高纯电子级异丙醇的生产方法:以工业级异丙醇为原料,通过混合吸附除水、两级精馏、脱除金属离子、脱除颗粒,连续提纯获得电子级异丙醇。首先工业异丙醇进入吸附除水工序,采用混装填料进行变温吸附,在常温下有效吸附异丙醇中绝大部分水分子及其它杂质,脱水后异丙醇中水分含量小于20ppm,除水后的异丙醇进入两级精馏塔进行连续化精馏提纯,通过脱轻和脱重去除轻组分和重组分,经在线成分检测后合格成分采出后进入混装树脂塔进行离子交换,进一步脱除阴阳离子,最后经微孔折叠滤芯过滤脱除颗粒并二次脱水后得到G5等级的电子级异丙醇。
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公开(公告)号:CN119410418A
公开(公告)日:2025-02-11
申请号:CN202411385200.3
申请日:2024-09-30
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种去除聚酰亚胺蚀刻后残留物的清洗液。清洗液主要成分为0.1%‑5%氟化氢铵、0.1%‑2%磷酸、0.01%‑2%表面活性剂、1%‑10%抑制剂、10%‑65%有机溶剂以及余量水;反应活性物质为氟化氢铵与磷酸,在其协同作用下将蚀刻后残留物转化为易溶物;表面活性剂的使用可以有效降低清洗液与晶圆两相间界面张力,提高界面反应活性;抑制剂控制金属和介质层的腐蚀速率;有机溶剂和水作为主要溶剂,增强对蚀刻后残留物的清洗能力。本发明的清洗液,对聚酰亚胺无渗透,对介质层蚀刻速率低,对光刻胶、蚀刻后残留物清洗性能佳,使用寿命长,无化学损害风险。
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公开(公告)号:CN119064499A
公开(公告)日:2024-12-03
申请号:CN202411193382.4
申请日:2024-08-28
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电子级六甲基二硅氮烷中痕量氯离子的捕集与测定方法,向电子级六甲基二硅氮烷中按照一定的速度滴入超纯水,使其发生水解反应释放氯离子,氯离子一部分溶解于超纯水中,另一部随着惰性气体的吹扫进入吸收液中进行捕集;然后再用离子色谱法对溶解或捕集氯离子的溶液进行检测,最后计算得到电子级六甲基二硅氮烷中痕量氯离子的含量。本发明具有检测准确高、安全系数高、检出限低等优点,同时检测过程中不会产生固体物质堵塞检测仪器,延长了检测仪器的使用寿命。
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公开(公告)号:CN119371452A
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN202411424732.3
申请日:2024-10-12
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种二甲基二甲氧基硅烷提纯装置设备和工艺系统,该提纯系统包含以下设备:工业级原料罐(1),一级脱水塔A(2),一级脱水塔B(3),缓冲罐(4),一级精馏塔(5),重组分闪蒸罐(6),二级精馏塔(7),轻组分闪蒸罐(8),暂储罐(9),气相色谱仪(10),缓冲罐(11),树脂塔A(12),树脂塔B(13),二级脱水塔A(14),二级脱水塔B(15),过滤器A(16),过滤器B(17),电子级产品罐(18)。该套工艺装置依次相连,并进行合理的物料回收,其包含了脱除水分、阴阳离子、颗粒杂质以及轻重组分杂质等过程,其中对脱除的轻重组分进行二次闪蒸然后打回缓冲罐进行重新利用,可以保证电子级产品的良好收率,另外对两次精馏后的物料进行在线有机成分分析,可以充分保证物料有机纯度维持在99.99%以上,最终获得电子级合格产品。
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公开(公告)号:CN117849151A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202311592316.X
申请日:2023-11-24
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司
IPC: G01N27/42
Abstract: 本发明提供了一种电子级六甲基二硅氮烷中水分含量的检测方法,该检测方法采用卡尔·费休库伦法测量电子级六甲基二硅氮烷的水分,卡尔·费休试剂由质量分数组成分别为甲醇50‑70%、二乙醇胺5‑15%、咪唑5‑15%、二氧化硫3‑10%、氢碘酸3‑10%,在反应溶剂中加入苹果酸或柠檬酸其中一种酸性缓冲试剂,即可以保证卡尔·费休反应正常进行,又可以减缓电子级六甲基二硅氮烷与醇的反应,即使有轻微的反应物生成,也可以通过溶剂中大量的酸性缓冲试剂进行中和,缓冲滴定溶液的pH值,减缓副反应,最终实现电子级六甲基二硅氮烷的水分测定。
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公开(公告)号:CN117347465A
公开(公告)日:2024-01-05
申请号:CN202311194125.8
申请日:2023-09-15
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司
Abstract: 本发明属于磷烷的金属检测领域,提供了一种磷烷的金属检测方法,使用ICP‑MS分析仪器,将样品稀释适当倍数注入到电感耦合等离子体中,将金属元素离子化,通过质谱仪将离子根据其质荷比分离,并使用相应的离子探测器进行信号检测和计数,得到未加标样品待测元素的响应值。选择适当浓度的内标元素加入到样品中。选择适当浓度梯度的待测元素标准液加入到样品中,并检测,得到若干个标准点。以待测元素的响应值与内标元素响应值之比为y轴,待测元素与内标元素的浓度之比为x轴绘制内标校正标准曲线。本发明解决了磷烷取样前处理的问题,并通过使用ICP‑MS优化仪器参数后检测,具有较高的准确性和精确度,可以提供可靠的分析结果。
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公开(公告)号:CN119757503A
公开(公告)日:2025-04-04
申请号:CN202411752975.X
申请日:2024-12-02
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司
IPC: G01N27/42
Abstract: 本发明提供了一种2,3,4‑三羟基二苯甲酮1,2‑二叠氮基萘醌‑5‑磺酸酯中水分含量的检测方法,该检测方法使用外部溶解法预处理样品,采用卡尔·费休库伦法测量2,3,4‑三羟基二苯甲酮1,2‑二叠氮基萘醌‑5‑磺酸酯的水分,卡尔·费休试剂由质量分数组成分别为70%的甲醇、10%的二乙醇胺、10%的咪唑、5%的二氧化硫、5%的氢碘酸,在检测水分前需要进行外部溶解法预处理样品,分别记录测量样品的含水量m1、空白溶剂的含水量m2、溶剂的重量x1、样品的重量x2,使用修正公式进行修正,最终实现2,3,4‑三羟基二苯甲酮1,2‑二叠氮基萘醌‑5‑磺酸酯的水分测定。
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公开(公告)号:CN117510534A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202311275325.6
申请日:2023-09-28
Applicant: 湖北兴福电子材料股份有限公司
IPC: C07F7/21
Abstract: 本发明公开了一种高纯四甲基硅烷的连续化生产工艺,对有机硅低沸原料进行精馏脱重除杂处理,除去原料中氯代硅烷等沸点较高的组分;对脱重除杂后的物料进行精馏脱轻除杂处理,脱轻塔用于脱除小分子烷烃、氯代烷烃、烯烃等沸点较低的组分;对脱重脱轻后的物料进行吸附除杂处理,除去与四甲基硅烷沸点接近的组分以及经精馏除杂步骤未完全除去的残余杂质组分;对吸附除杂后的产品进行冷凝充装。本发明能将低沸原料中大部分杂质组分除去;所用金属有机骨架吸附剂材料孔径为3.8‑7.1Å,在有机硅低沸环境中能保持稳定的结构,所用13X型沸石分子筛对不饱和烯烃杂质的吸附效果明显,吸附剂可脱附后重复使用,该工艺可将成品中的四甲基含量提高到99.99%以上。
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