一种去除聚酰亚胺蚀刻后残留物的清洗液

    公开(公告)号:CN119410418A

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202411385200.3

    申请日:2024-09-30

    Abstract: 本发明公开了一种去除聚酰亚胺蚀刻后残留物的清洗液。清洗液主要成分为0.1%‑5%氟化氢铵、0.1%‑2%磷酸、0.01%‑2%表面活性剂、1%‑10%抑制剂、10%‑65%有机溶剂以及余量水;反应活性物质为氟化氢铵与磷酸,在其协同作用下将蚀刻后残留物转化为易溶物;表面活性剂的使用可以有效降低清洗液与晶圆两相间界面张力,提高界面反应活性;抑制剂控制金属和介质层的腐蚀速率;有机溶剂和水作为主要溶剂,增强对蚀刻后残留物的清洗能力。本发明的清洗液,对聚酰亚胺无渗透,对介质层蚀刻速率低,对光刻胶、蚀刻后残留物清洗性能佳,使用寿命长,无化学损害风险。

    一种电子级二甲基二甲氧基硅烷的提纯工艺

    公开(公告)号:CN119371452A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411424732.3

    申请日:2024-10-12

    Abstract: 本发明公开了一种二甲基二甲氧基硅烷提纯装置设备和工艺系统,该提纯系统包含以下设备:工业级原料罐(1),一级脱水塔A(2),一级脱水塔B(3),缓冲罐(4),一级精馏塔(5),重组分闪蒸罐(6),二级精馏塔(7),轻组分闪蒸罐(8),暂储罐(9),气相色谱仪(10),缓冲罐(11),树脂塔A(12),树脂塔B(13),二级脱水塔A(14),二级脱水塔B(15),过滤器A(16),过滤器B(17),电子级产品罐(18)。该套工艺装置依次相连,并进行合理的物料回收,其包含了脱除水分、阴阳离子、颗粒杂质以及轻重组分杂质等过程,其中对脱除的轻重组分进行二次闪蒸然后打回缓冲罐进行重新利用,可以保证电子级产品的良好收率,另外对两次精馏后的物料进行在线有机成分分析,可以充分保证物料有机纯度维持在99.99%以上,最终获得电子级合格产品。

    一种电子级六甲基二硅氮烷水分检测方法

    公开(公告)号:CN117849151A

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311592316.X

    申请日:2023-11-24

    Abstract: 本发明提供了一种电子级六甲基二硅氮烷中水分含量的检测方法,该检测方法采用卡尔·费休库伦法测量电子级六甲基二硅氮烷的水分,卡尔·费休试剂由质量分数组成分别为甲醇50‑70%、二乙醇胺5‑15%、咪唑5‑15%、二氧化硫3‑10%、氢碘酸3‑10%,在反应溶剂中加入苹果酸或柠檬酸其中一种酸性缓冲试剂,即可以保证卡尔·费休反应正常进行,又可以减缓电子级六甲基二硅氮烷与醇的反应,即使有轻微的反应物生成,也可以通过溶剂中大量的酸性缓冲试剂进行中和,缓冲滴定溶液的pH值,减缓副反应,最终实现电子级六甲基二硅氮烷的水分测定。

    一种磷烷的金属检测方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117347465A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311194125.8

    申请日:2023-09-15

    Abstract: 本发明属于磷烷的金属检测领域,提供了一种磷烷的金属检测方法,使用ICP‑MS分析仪器,将样品稀释适当倍数注入到电感耦合等离子体中,将金属元素离子化,通过质谱仪将离子根据其质荷比分离,并使用相应的离子探测器进行信号检测和计数,得到未加标样品待测元素的响应值。选择适当浓度的内标元素加入到样品中。选择适当浓度梯度的待测元素标准液加入到样品中,并检测,得到若干个标准点。以待测元素的响应值与内标元素响应值之比为y轴,待测元素与内标元素的浓度之比为x轴绘制内标校正标准曲线。本发明解决了磷烷取样前处理的问题,并通过使用ICP‑MS优化仪器参数后检测,具有较高的准确性和精确度,可以提供可靠的分析结果。

    一种高纯四甲基硅烷连续化生产工艺

    公开(公告)号:CN117510534A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311275325.6

    申请日:2023-09-28

    Abstract: 本发明公开了一种高纯四甲基硅烷的连续化生产工艺,对有机硅低沸原料进行精馏脱重除杂处理,除去原料中氯代硅烷等沸点较高的组分;对脱重除杂后的物料进行精馏脱轻除杂处理,脱轻塔用于脱除小分子烷烃、氯代烷烃、烯烃等沸点较低的组分;对脱重脱轻后的物料进行吸附除杂处理,除去与四甲基硅烷沸点接近的组分以及经精馏除杂步骤未完全除去的残余杂质组分;对吸附除杂后的产品进行冷凝充装。本发明能将低沸原料中大部分杂质组分除去;所用金属有机骨架吸附剂材料孔径为3.8‑7.1Å,在有机硅低沸环境中能保持稳定的结构,所用13X型沸石分子筛对不饱和烯烃杂质的吸附效果明显,吸附剂可脱附后重复使用,该工艺可将成品中的四甲基含量提高到99.99%以上。

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