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公开(公告)号：CN108120578B
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201711355463.X
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/08
Abstract: 本发明公开了一种可对MEMS微结构加载冲击载荷的三轴式激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及丝母与下联接块连接的电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有相互配合的球面凸起和球面凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块上均布有球头柱塞，其外端顶入套筒内壁的矩形凹槽内，在套筒内均布有穿过下联接块的导向轴。该装置能够更加灵活的对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108217590B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201711355485.6
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式底座激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及丝母与下联接块连接的电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有夹持钢球的球面凹槽和锥形凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块上均布连接有球头柱塞，球头柱塞外端顶入套筒内壁的矩形凹槽内。该装置能够更加灵活的对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108168818B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201711355483.7
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷的MEMS微结构三轴式底座激励装置，包括套筒、压电陶瓷、压力传感器、上联接块、钢球、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒内下部安装有电动丝杠传动机构，用于带动下联接块移动；在上联接块和下联接块的相对面上分别设有锥形凹槽和球面凹槽，压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在套筒内沿圆周方向均布有导向轴；在导向轴上分别设有滑动座，上联接块与每个滑动座分别通过拉簧连接。该装置能够对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，能够避免测试用微器件的脱落，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108020392B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201711355461.0
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/08
Abstract: 本发明公开了一种基于逆压电效应的MEMS微结构四轴式片外激振装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及与下联接块连接的电动丝杠传动机构；上联接块下端设有半球状圆头并压在下联接块上面；压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块与套筒之间圆周均布设有球头柱塞，球头柱塞内端钢珠顶入到上联接块外缘的滑槽内，在套筒内均布有穿过下联接块的导向轴。该装置能够灵活对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108168813B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201711355452.1
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开一种MEMS微结构四轴式激励装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块均布有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有配合的球面凹槽和球面凸起；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块底面与下联接块的导向支臂之间圆周均布连接有拉簧。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108168817B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201711355478.6
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于底座激励方法的MEMS微结构三轴式激振装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块设有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有相互配合的球面凹槽和凸起；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过球头柱塞顶入套筒内壁。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108217589A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355484.1
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷的MEMS微结构三轴式动态加载装置，包括套筒，叠堆压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及电动丝杠传动机构；在上、下联接块之间分别设有球面凸起和球面凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块外缘通过圆周均布的连接杆连接有安装块，在安装块上分别安装有球头柱塞，球头柱塞外端钢珠顶入到套筒外壁的矩形凹槽内。该装置能够更灵活的对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108217587A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711355477.1
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的四轴式底座激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有夹持钢球的球面凹槽和锥形凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块上均布连接有球头柱塞，球头柱塞外端顶入套筒内壁的矩形凹槽内。该装置能够灵活对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，大大减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，能够避免测试用微器件的脱落，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108168815A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711355464.4
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开了一种由压电陶瓷驱动的MEMS微结构三轴式激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，MEMS微结构通过弹性支撑件安装在环形顶板上；下联接块上端为半球状圆头并顶在上联接块底面；压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块与套筒之间圆周均布设有球头柱塞，球头柱塞内端顶入到上联接块外缘的滑槽内，在环形顶板和底板之间圆周均布有导向轴。该装置能够灵活对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108168814A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711355453.6
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开一种可对MEMS微结构进行片外激励的四轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及钢球、弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在顶、底板之间均布有导向轴，下联接块均布有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上；在上、下联接块上分别设有锥形凹槽和球面凹槽，在上、下联接块之间圆周均布有拉簧，使钢球夹在锥形凹槽和球面凹槽之间；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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