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公开(公告)号：CN108168814A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711355453.6
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开一种可对MEMS微结构进行片外激励的四轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及钢球、弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在顶、底板之间均布有导向轴，下联接块均布有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上；在上、下联接块上分别设有锥形凹槽和球面凹槽，在上、下联接块之间圆周均布有拉簧，使钢球夹在锥形凹槽和球面凹槽之间；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108168814B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201711355453.6
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开一种可对MEMS微结构进行片外激励的四轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及钢球、弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在顶、底板之间均布有导向轴，下联接块均布有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上；在上、下联接块上分别设有锥形凹槽和球面凹槽，在上、下联接块之间圆周均布有拉簧，使钢球夹在锥形凹槽和球面凹槽之间；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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