公开(公告)号：CN105070781B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201510262782.0

申请日：2015-05-21

Applicant: 清华大学

Inventor： 谢丹 ,  戴睿轩 ,  徐建龙 ,  李娴 ,  孙翊淋 ,  张小稳 ,  张丞 ,  杨埔 ,  滕长久 ,  李志鑫 ,  朱宏伟

IPC: H01L31/113 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/02 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/028 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管柔性光敏器件及其制备方法，属于柔性电子技术以及敏感电子学领域，该光敏单元器件包括依次层叠的柔性衬底、柔性支撑层、柔性缓冲层、柔性背栅电极层、柔性背栅介质层、图形化的柔性碳纳米管光敏薄膜沟道层、以及在光敏沟道上图形化的金属源电极和漏电极。本发明利用有机高分子柔性材料作为光敏器件衬底，同时采用柔性栅介质材料、金属电极、以及碳纳米管薄膜光敏薄膜，可以实现光敏器件的柔性化。光敏薄膜沟道层采用碳纳米管网络结构，具有工艺简单、室温成膜的特点，适合于柔性传感器的制备。此外，碳纳米管还具有优异的光电特性，能实现对光的高效快速检测。

公开(公告)号：CN105070781A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510262782.0

申请日：2015-05-21

Applicant: 清华大学

Inventor： 谢丹 ,  戴睿轩 ,  徐建龙 ,  李娴 ,  孙翊淋 ,  张小稳 ,  张丞 ,  杨埔 ,  滕长久 ,  李志鑫 ,  朱宏伟

IPC: H01L31/113 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/02 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/028 ,  H01L31/18 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/1136 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L31/02 ,  H01L31/022408 ,  H01L31/028 ,  H01L31/035227 ,  H01L31/1804

Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管柔性光敏器件及其制备方法，属于柔性电子技术以及敏感电子学领域，该光敏单元器件包括依次层叠的柔性衬底、柔性支撑层、柔性缓冲层、柔性背栅电极层、柔性背栅介质层、图形化的柔性碳纳米管光敏薄膜沟道层、以及在光敏沟道上图形化的金属源电极和漏电极。本发明利用有机高分子柔性材料作为光敏器件衬底，同时采用柔性栅介质材料、金属电极、以及碳纳米管薄膜光敏薄膜，可以实现光敏器件的柔性化。光敏薄膜沟道层采用碳纳米管网络结构，具有工艺简单、室温成膜的特点，适合于柔性传感器的制备。此外，碳纳米管还具有优异的光电特性，能实现对光的高效快速检测。

公开(公告)号：CN104865293A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201510257321.4

申请日：2015-05-19

Applicant: 清华大学

Inventor： 谢丹 ,  李娴 ,  戴睿轩 ,  徐建龙 ,  滕长久 ,  李志鑫 ,  杨埔

IPC: G01N27/00

Abstract: 本发明公开了一种基于三维网络敏感薄膜的柔性气体传感器件及其制备方法，属于敏感电子学和柔性电子学领域。该传感器件包括：根据制备顺序依次层叠的柔性衬底层，叉指电极层和三维网络结构敏感薄膜层；制备方法主要包括柔性叉指电极器件制备，制备传感器件所需膜层材料，采用气喷成膜工艺制备三维网络结构敏感薄膜器件。本发明的优点在于利用柔性衬底对三维网络结构敏感薄膜的延伸性，进一步提高敏感薄膜对气体的响应性能，同时工艺简单，成本低，所制备的传感器件可用于气体检测领域。