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公开(公告)号：CN103218774B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201310116085.5
申请日：2013-04-03
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种基于局部高分辨率傅里叶变换的人工制栅几何相位分析法，该方法的步骤：首先采集一幅未变形的光栅图像和一幅变形后的光栅图像，分别对参考图像和变形图像进行快速傅里叶变换，获得参考空间频率谱和变形空间频率谱，选择空间频率主值所在区间进行局部高分辨率傅里叶变换得到局部高分辨率空间频率谱；在局部高分辨率空间频率谱中确定空间频率主值并以空间频率主值为中心对称选取空间频率值；在所选取的空间频率值组成的空间频率谱上进行滤波，得到滤波参考频谱和滤波变形频谱，然后分别进行傅里叶逆变换并求出参考相位和变形相位；利用参考相位和变形相位求相位差，计算位移和应变。本发明计算得到的位移和应变结果精度高，计算时间短。
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公开(公告)号：CN103218774A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310116085.5
申请日：2013-04-03
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种基于局部高分辨率傅里叶变换的人工制栅几何相位分析法，该方法的步骤：首先采集一幅未变形的光栅图像和一幅变形后的光栅图像：分别对参考图像和变形图像进行快速傅里叶变换，获得参考空间频率谱和变形空间频率谱，选择空间频率主值所在区间进行局部高分辨率傅里叶变换得到局部高分辨率空间频率谱；在局部高分辨率空间频率谱中确定空间频率主值并以空间频率主值为中心对称选取空间频率值；在所选取的空间频率值组成的空间频率谱上进行滤波，得到滤波参考频谱和滤波变形频谱，然后分别进行傅里叶逆变换并求出参考相位和变形相位；利用参考相位和变形相位求相位差，计算位移和应变。本发明计算得到的位移和应变结果精度高，计算时间短。
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公开(公告)号：CN102944976A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210435146.X
申请日：2012-11-02
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提出一种紫外纳米压印系统，本发明涉及特征尺寸为纳米级高分辨率图形的制作装置，属纳米加工技术领域。本发明由压印系统箱体和真空泵组成，其中压印系统箱体包括自动压力控制器、自动真空度控制器、自动曝光时间控制器和真空工作室。该系统通过自适应定位装置和精确控制压印环境、压印载荷、曝光时间来实现高精度、高效率的紫外纳米压印制造，具有结构紧凑、自动化程度高、使用方便的优点。
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公开(公告)号：CN104238264A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410459137.3
申请日：2014-09-10
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种溶液辅助软压印方法，包括以下步骤：制作表面具有微结构的第一材料的软模板；将抗蚀剂和有机溶剂配成溶液，其中，抗蚀剂不能被第一材料吸收，并且有机溶剂能被第一材料吸收；提供基片，并将溶液滴加到基片上；将软模板置于基片和溶液液滴之上，以使软模板和基片通过溶液液滴充分接触；待有机溶剂全部被第一材料的软模板吸收并且抗蚀剂固化成为抗蚀剂层后，脱除掉软模板，得到载有抗蚀剂层的基片，其中，抗蚀剂层表面具有与软模板相反的微结构；以抗蚀剂结构层为掩膜层，对基片进行刻蚀或沉积加工。本发明实施例的溶液辅助软压印方法具有无残胶、加工面积大、简单易行等优点。
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公开(公告)号：CN103529505A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310529145.6
申请日：2013-10-30
Applicant: 清华大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明涉及一种基于毛细力辅助注模技术制作云纹光栅的方法，属于云纹光栅的制作技术领域，包括：对试件的表面进行抛光；超声洗清洗试件，去除试件表面油污；将具有云纹光栅结构的软模板的表面与试件抛光的表面接触，保证两表面接触充分；在软模板上的云纹光栅结构与试件抛光表面形成的空腔开口侧滴入胶水，该空腔内壁与胶水间的毛细力辅助胶水填充空腔，完成注模；根据胶水的性质，采用相应条件使胶水固化；将软模板与试件分离，此时胶水固结在试件表面；利用胶水作为掩膜刻蚀试件，除去胶水后在试件表面形成云纹光栅；或在试件表面镀膜，除去胶水后在试件表面形成云纹光栅。该方法加工效率高，面积大，工艺简单。适合制作不同测试环境的光栅。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103217275A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310175694.8
申请日：2013-05-14
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开一种显微镜放大倍数标定方法，包括：以已知光栅节距的标准光栅为参考，在需标定的显微镜中采集光栅图像；对采集的图像进行快速傅里叶变换，获得空间频率谱；在空间频率谱中选择某一级次的谐振频率所在区间，进行局部高分辨率离散傅里叶变换得到局部高分辨率空间频率谱；在局部高分辨率空间频率谱中选择幅值最大处的频率作为谐振频率，用谐振频率除以级次得到基频；由光栅节距和基频计算图像对应标准光栅的尺寸；由图像的显示尺寸和图像对应标准光栅的尺寸之比标定显微镜的放大倍数。本发明利用傅里叶变换的方法标定显微镜的放大倍数，相比传统的方法，精度高，标定范围大，适用性广。
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公开(公告)号：CN103163024A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310090805.5
申请日：2013-03-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01N3/08
Abstract: 本发明公开了一种薄膜加载装置，包括：支架、杠杆组件、压电陶瓷、第一夹持件、第二夹持件和传感器。所述杠杆组件包括移动杆，所述移动杆可绕预定点转动地设在所述支架上；所述压电陶瓷与所述移动杆相连用于向所述移动杆输入初始位移；所述第一夹持件与所述移动杆相连，所述第一夹持件夹持薄膜的第一端且所述第二夹持件夹持薄膜的第二端，其中所述第一夹持件和所述移动杆的连接处与所述预定点之间的距离大于所述压电陶瓷和所述移动杆的连接处与所述预定点之间的距离；传感器用于测量所述薄膜受到的拉力，所述传感器设在所述支架上且与所述第二夹持件相连。根据本发明的薄膜加载装置，加载位移精度高，反应快，输出位移大且结构简单。
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公开(公告)号：CN103217275B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310175694.8
申请日：2013-05-14
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开一种显微镜放大倍数标定方法，包括：以已知光栅节距的标准光栅为参考，在需标定的显微镜中采集光栅图像；对采集的图像进行快速傅里叶变换，获得空间频率谱；在空间频率谱中选择某一级次的谐振频率所在区间，进行局部高分辨率离散傅里叶变换得到局部高分辨率空间频率谱；在局部高分辨率空间频率谱中选择幅值最大处的频率作为谐振频率，用谐振频率除以级次得到基频；由光栅节距和基频计算图像对应标准光栅的尺寸；由图像的显示尺寸和图像对应标准光栅的尺寸之比标定显微镜的放大倍数。本发明利用傅里叶变换的方法标定显微镜的放大倍数，相比传统的方法，精度高，标定范围大，适用性广。
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公开(公告)号：CN103076645B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310025945.4
申请日：2013-01-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种贴片式云纹光栅的制作方法，包括：步骤1：清洁基底的表面并将所述基底可分离地固定在载板上；步骤2：将紫外固化胶均匀涂覆在所述基底上；步骤3：将模板置于所述紫外固化胶上并利用紫外纳米压印机进行压印；步骤4：压印完成且所述紫外固化胶固化后，将所述模板从所述紫外固化胶上脱除且所述基底与固化后的所述紫外固化胶可分离；步骤5：在固化后的所述紫外固化胶上镀功能膜；步骤6：在所述功能膜上可分离地覆盖保护膜。根据本发明实施例的贴片式云纹光栅的制作方法，可制作不同频率、不同截面形状、适用不同服役环境的高精度正交或单向光栅。
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公开(公告)号：CN104613890B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201510067386.2
申请日：2015-02-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/16
Abstract: 本发明公开了一种光栅应变测量装置，所述光栅应变测量装置包括：自由度可调底座、Z向导轨、X向导轨、光阑、光屏、光源、半透半反镜、反射镜架、第一反射镜至第四反射镜和相机。光阑设在Z向导轨上，光屏沿Z向可移动地设在Z向导轨上，光源设在X向导轨上，反射镜架设在Z向导轨上。半透半反镜设在X向导轨上，反射到试件上的测量光线在试件的表面上发生反射和衍射，标定光线经光阑透射到光屏上。第一反射镜和第二反射镜可调节地设在反射镜架上。第三反射镜可调节地设在X向导轨上，通过第三反射镜反射到试件上的测量光线在试件的表面上发生反射，第四反射镜可调节地设在反射镜架上。所述光栅应变测量装置具有测量精度高等优点。
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