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公开(公告)号：CN103592708B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201310485353.0
申请日：2013-10-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种试件表面上制备光栅的方法，包括以下步骤：提供微尺度试件；对试件进行表面处理；将试件置于聚焦双束系统下，聚焦双束系统采用电子束在试件表面进行微区定位；以及聚焦双束系统采用离子束在微区进行沉积点阵结构以形成光栅。该方法可以用于微纳米薄膜表面制备变形传感元件-高密度云纹光栅结构的制备，对薄膜表面的损伤小，可以制备不同频率适用于不同测量范围的光栅点阵结构，可以对试样表面的微区域进行实时定位加工，还可适用于不同基底材料表面的微区光栅制备。该方法具有通用性好，损伤小的优点。
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公开(公告)号：CN104359929A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410673713.4
申请日：2014-11-21
Applicant: 清华大学
IPC: G01N23/22
Abstract: 一种基于二值化方法的、结合了扫描云纹技术和灰度共生矩阵处理方法的纳米多孔材料表征方法，通过扫描电子显微镜拍摄被测纳米多孔材料的云纹条纹图像，并采用灰度共生矩阵方法处理该云纹条纹图，通过对获得的云纹条纹图进行二值化处理，可将图像的灰度级别降低为原来的1/128，相应地，由二值化云纹条纹图所获得的灰度共生矩阵的维数也减少到原来的1/128。本发明方法具有快速高效等优点，同时兼具灵敏度高、操作简单，以及可批量处理等优点。
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公开(公告)号：CN103217275A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310175694.8
申请日：2013-05-14
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开一种显微镜放大倍数标定方法，包括：以已知光栅节距的标准光栅为参考，在需标定的显微镜中采集光栅图像；对采集的图像进行快速傅里叶变换，获得空间频率谱；在空间频率谱中选择某一级次的谐振频率所在区间，进行局部高分辨率离散傅里叶变换得到局部高分辨率空间频率谱；在局部高分辨率空间频率谱中选择幅值最大处的频率作为谐振频率，用谐振频率除以级次得到基频；由光栅节距和基频计算图像对应标准光栅的尺寸；由图像的显示尺寸和图像对应标准光栅的尺寸之比标定显微镜的放大倍数。本发明利用傅里叶变换的方法标定显微镜的放大倍数，相比传统的方法，精度高，标定范围大，适用性广。
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公开(公告)号：CN104677738A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510063997.X
申请日：2015-02-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01N3/10
Abstract: 本发明利用扫描电子显微镜的真空工作环境以及其高分辨率显微特性，提出了一种测量薄膜力学特性的鼓泡方法。将层合中空试样置于扫描电子显微镜中使得层合材料的薄膜变形形成鼓泡后，利用薄膜的散斑图像，通过DIC算法求得薄膜表面的面内位移场，并利用该面内位移场求得鼓泡的面内应变和薄膜表面的离面高度，进而求得薄膜的双轴模量和初始残余应力。本发明克服了传统鼓泡法加载装置复杂且成本昂贵的问题，仅通过一次加载即可同时测量双轴模量和残余应力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103592708A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310485353.0
申请日：2013-10-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种试件表面上制备光栅的方法，包括以下步骤：提供微尺度试件；对试件进行表面处理；将试件置于聚焦双束系统下，聚焦双束系统采用电子束在试件表面进行微区定位；以及聚焦双束系统采用离子束在微区进行沉积点阵结构以形成光栅。该方法可以用于微纳米薄膜表面制备变形传感元件-高密度云纹光栅结构的制备，对薄膜表面的损伤小，可以制备不同频率适用于不同测量范围的光栅点阵结构，可以对试样表面的微区域进行实时定位加工，还可适用于不同基底材料表面的微区光栅制备。该方法具有通用性好，损伤小的优点。
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公开(公告)号：CN104677738B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510063997.X
申请日：2015-02-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01N3/10
Abstract: 本发明利用扫描电子显微镜的真空工作环境以及其高分辨率显微特性，提出了一种测量薄膜力学特性的鼓泡方法。将层合中空试样置于扫描电子显微镜中使得层合材料的薄膜变形形成鼓泡后，利用薄膜的散斑图像，通过DIC算法求得薄膜表面的面内位移场，并利用该面内位移场求得鼓泡的面内应变和薄膜表面的离面高度，进而求得薄膜的双轴模量和初始残余应力。本发明克服了传统鼓泡法加载装置复杂且成本昂贵的问题，仅通过一次加载即可同时测量双轴模量和残余应力。
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公开(公告)号：CN103217275B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310175694.8
申请日：2013-05-14
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开一种显微镜放大倍数标定方法，包括：以已知光栅节距的标准光栅为参考，在需标定的显微镜中采集光栅图像；对采集的图像进行快速傅里叶变换，获得空间频率谱；在空间频率谱中选择某一级次的谐振频率所在区间，进行局部高分辨率离散傅里叶变换得到局部高分辨率空间频率谱；在局部高分辨率空间频率谱中选择幅值最大处的频率作为谐振频率，用谐振频率除以级次得到基频；由光栅节距和基频计算图像对应标准光栅的尺寸；由图像的显示尺寸和图像对应标准光栅的尺寸之比标定显微镜的放大倍数。本发明利用傅里叶变换的方法标定显微镜的放大倍数，相比传统的方法，精度高，标定范围大，适用性广。
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公开(公告)号：CN104331895A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410673694.5
申请日：2014-11-21
Applicant: 清华大学
IPC: G06T7/00
CPC classification number: G06T7/0004 , G06T7/45 , G06T2207/10061 , G06T2207/30124
Abstract: 一种结合了扫描云纹技术和灰度共生矩阵处理方法的纳米多孔材料表征方法，通过扫描电子显微镜拍摄被测纳米多孔材料的云纹条纹图像，并采用灰度共生矩阵方法处理该云纹条纹图，以获得其条纹分布的统计学特征，利用几何云纹法的基本公式，可由获得的云纹条纹图中条纹分布的统计学参数求得被测纳米多孔材料的结构主周期和结构主方向。
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公开(公告)号：CN103424085A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310232350.6
申请日：2013-06-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种物体表面三维形貌的测量方法，属于光测力学技术领域。本发明通过倾斜扫描电镜试样台的角度，获取被测试样在不同角度下的扫描云纹图像，对不同倾斜角度的两幅图像分别进行云纹条纹处理，分别得到两个角度下的位移场，利用扫描电镜中的立体分析模型公式，根据位移场确定被测试样的三维形貌图。本发明方法集成了扫描云纹技术测量灵敏度高、视场大的优点，实现了对微纳米尺度物体三维形貌的测量。本发明弥补了传统扫描电镜法只能测量面内信息的不足，拓展了扫描云纹法的应用范围，且对微纳米尺度物体三维形貌测量具有很好的效果。
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