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公开(公告)号:CN119993812A
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202510149550.8
申请日:2021-11-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , G01N23/2251 , C09K11/62
Abstract: 本发明的技术问题在于,提供一种能够降低串扰,且可扩展用途的发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及使用其的扫描型电子显微镜。本发明的发光元件(1)具备:对于荧光具有透明性的光纤板基板(2);及由具有量子阱结构的氮化物半导体层过程的发光层(3)。此发光元件(1)中,光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。
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公开(公告)号:CN114981383B
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202080093102.6
申请日:2020-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L33/00 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 发光体(10)是将所输入的电子转换为光的发光体,包括通过电子的输入而发出光的多重量子阱结构(14C)和设置在多重量子阱结构(14C)上的电子输入面(10a)。包含于构成多重量子阱结构(14C)的多个势垒层的某个势垒层比包含于多个势垒层且相对于某个势垒层位于电子输入面(10a)侧的其它的势垒层厚。由此,实现了能够从小的加速电压到大的加速电压提高光转换效率的发光体、电子束检测器和扫描型电子显微镜。
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公开(公告)号:CN116472328B
公开(公告)日:2025-03-04
申请号:CN202180078066.0
申请日:2021-11-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J37/244 , G01N23/2251 , H01J37/28 , G01T1/20 , C09K11/62
Abstract: 本发明的技术问题在于,提供一种能够降低串扰,且可扩展用途的发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及使用其的扫描型电子显微镜。本发明的发光元件(1)具备:对于荧光具有透明性的光纤板基板(2);及由具有量子阱结构的氮化物半导体层过程的发光层(3)。此发光元件(1)中,光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。
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公开(公告)号:CN114981383A
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202080093102.6
申请日:2020-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: C09K11/00 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 发光体(10)是将所输入的电子转换为光的发光体,包括通过电子的输入而发出光的多重量子阱结构(14C)和设置在多重量子阱结构(14C)上的电子输入面(10a)。包含于构成多重量子阱结构(14C)的多个势垒层的某个势垒层比包含于多个势垒层且相对于某个势垒层位于电子输入面(10a)侧的其它的势垒层厚。由此,实现了能够从小的加速电压到大的加速电压提高光转换效率的发光体、电子束检测器和扫描型电子显微镜。
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公开(公告)号:CN104914518A
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201510106541.7
申请日:2015-03-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B6/42
Abstract: 本发明提供半导体激光器模块、半导体激光器光源和半导体激光器系统。半导体激光器模块(1)具备射出激光(L)的半导体激光器(21)、以及与半导体激光器(21)光学耦合并将激光(L)进行导波而射出的光纤(3),光纤(3)具有一个端面(4a)与半导体激光器(21)光学耦合的第一光纤(4),以及一个端面(5a)熔接于第一光纤(4)的另一个端面(4b)并从另一个端面(5b)射出激光(L)的第二光纤(5),第二光纤(5)包含弯曲部(7),芯的截面积比第一光纤(4)的芯的截面积大且数值孔径(NA2)等于第一光纤(4)的数值孔径(NA1)。
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