公开(公告)号：CN114981383B

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202080093102.6

申请日：2020-11-30

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 前田纯也 ,  金子乔吾 ,  山内邦义

IPC: H01L33/00 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 发光体(10)是将所输入的电子转换为光的发光体，包括通过电子的输入而发出光的多重量子阱结构(14C)和设置在多重量子阱结构(14C)上的电子输入面(10a)。包含于构成多重量子阱结构(14C)的多个势垒层的某个势垒层比包含于多个势垒层且相对于某个势垒层位于电子输入面(10a)侧的其它的势垒层厚。由此，实现了能够从小的加速电压到大的加速电压提高光转换效率的发光体、电子束检测器和扫描型电子显微镜。

公开(公告)号：CN114981383A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202080093102.6

申请日：2020-11-30

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 前田纯也 ,  金子乔吾 ,  山内邦义

IPC: C09K11/00 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 发光体(10)是将所输入的电子转换为光的发光体，包括通过电子的输入而发出光的多重量子阱结构(14C)和设置在多重量子阱结构(14C)上的电子输入面(10a)。包含于构成多重量子阱结构(14C)的多个势垒层的某个势垒层比包含于多个势垒层且相对于某个势垒层位于电子输入面(10a)侧的其它的势垒层厚。由此，实现了能够从小的加速电压到大的加速电压提高光转换效率的发光体、电子束检测器和扫描型电子显微镜。