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公开(公告)号:CN116472328B
公开(公告)日:2025-03-04
申请号:CN202180078066.0
申请日:2021-11-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J37/244 , G01N23/2251 , H01J37/28 , G01T1/20 , C09K11/62
Abstract: 本发明的技术问题在于,提供一种能够降低串扰,且可扩展用途的发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及使用其的扫描型电子显微镜。本发明的发光元件(1)具备:对于荧光具有透明性的光纤板基板(2);及由具有量子阱结构的氮化物半导体层过程的发光层(3)。此发光元件(1)中,光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。
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公开(公告)号:CN116802766A
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN202180092581.4
申请日:2021-11-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J37/244
Abstract: 本发明提供一种能够提升通过被检测线的入射而产生的光的导光效率的光导、电子线检测器及带电粒子装置。本发明的电子线检测器(1A)具备:沿一方向延伸的导光体(2);第1荧光体层(3),其配置于导光体(2)的一端侧,通过被检测线(E)的入射而使1次荧光(L1)产生;第2荧光体层(4),其从导光体(2)的一端侧朝向另一端侧延伸,通过1次荧光(L1)的入射而使2次荧光(L2)产生;以及检测部(5),其配置于导光体(2)的另一端侧,和导光体(2)光学地耦合。
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公开(公告)号:CN109154570A
公开(公告)日:2019-01-04
申请号:CN201780030146.2
申请日:2017-02-23
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/64
Abstract: 基准体(1)包括:支撑体(10),其设置有第1光通过部(18)及第2光通过部(19)、以及第1收纳空间(14)及第2收纳空间(15);第1荧光体(20),其收纳于第1收纳空间(14),在第1波长区域的第1激发光经由第1光通过部(18)被照射时发出第2波长区域的第1荧光;第2荧光体(30),其收纳于第2收纳空间(15),在第1波长区域的第2激发光经由第2光通过部(19)被照射时发出第2波长区域的第2荧光;以及遮光部(13),其配置于第1收纳空间(14)与第2收纳空间(15)之间。在入射至第1光通过部(18)的第1激发光的光量与入射至第2光通过部(19)的第2激发光的光量相互相等的情况下,自第1光通过部(18)出射的第1荧光的光量与自第2光通过部(19)出射的第2荧光的光量互不相同。
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公开(公告)号:CN119993812A
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202510149550.8
申请日:2021-11-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , G01N23/2251 , C09K11/62
Abstract: 本发明的技术问题在于,提供一种能够降低串扰,且可扩展用途的发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及使用其的扫描型电子显微镜。本发明的发光元件(1)具备:对于荧光具有透明性的光纤板基板(2);及由具有量子阱结构的氮化物半导体层过程的发光层(3)。此发光元件(1)中,光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。
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