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公开(公告)号：CN114981383B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202080093102.6
申请日：2020-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L33/00 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 发光体(10)是将所输入的电子转换为光的发光体，包括通过电子的输入而发出光的多重量子阱结构(14C)和设置在多重量子阱结构(14C)上的电子输入面(10a)。包含于构成多重量子阱结构(14C)的多个势垒层的某个势垒层比包含于多个势垒层且相对于某个势垒层位于电子输入面(10a)侧的其它的势垒层厚。由此，实现了能够从小的加速电压到大的加速电压提高光转换效率的发光体、电子束检测器和扫描型电子显微镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119993812A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510149550.8
申请日：2021-11-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , G01N23/2251 , C09K11/62
Abstract: 本发明的技术问题在于，提供一种能够降低串扰，且可扩展用途的发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及使用其的扫描型电子显微镜。本发明的发光元件(1)具备：对于荧光具有透明性的光纤板基板(2)；及由具有量子阱结构的氮化物半导体层过程的发光层(3)。此发光元件(1)中，光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。
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公开(公告)号：CN116472328B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202180078066.0
申请日：2021-11-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J37/244 , G01N23/2251 , H01J37/28 , G01T1/20 , C09K11/62
Abstract: 本发明的技术问题在于，提供一种能够降低串扰，且可扩展用途的发光元件、光检测模块、发光元件的制造方法、及使用其的扫描型电子显微镜。本发明的发光元件(1)具备：对于荧光具有透明性的光纤板基板(2)；及由具有量子阱结构的氮化物半导体层过程的发光层(3)。此发光元件(1)中，光纤板基板(2)与发光层(3)被直接接合。
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公开(公告)号：CN116802766A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202180092581.4
申请日：2021-11-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J37/244
Abstract: 本发明提供一种能够提升通过被检测线的入射而产生的光的导光效率的光导、电子线检测器及带电粒子装置。本发明的电子线检测器(1A)具备：沿一方向延伸的导光体(2)；第1荧光体层(3)，其配置于导光体(2)的一端侧，通过被检测线(E)的入射而使1次荧光(L1)产生；第2荧光体层(4)，其从导光体(2)的一端侧朝向另一端侧延伸，通过1次荧光(L1)的入射而使2次荧光(L2)产生；以及检测部(5)，其配置于导光体(2)的另一端侧，和导光体(2)光学地耦合。
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公开(公告)号：CN114981383A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202080093102.6
申请日：2020-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: C09K11/00 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 发光体(10)是将所输入的电子转换为光的发光体，包括通过电子的输入而发出光的多重量子阱结构(14C)和设置在多重量子阱结构(14C)上的电子输入面(10a)。包含于构成多重量子阱结构(14C)的多个势垒层的某个势垒层比包含于多个势垒层且相对于某个势垒层位于电子输入面(10a)侧的其它的势垒层厚。由此，实现了能够从小的加速电压到大的加速电压提高光转换效率的发光体、电子束检测器和扫描型电子显微镜。
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