一种基于冗余特征的外差激光干涉仪旋转倾斜误差校准的方法

    公开(公告)号:CN119756162A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202510034436.0

    申请日:2025-01-09

    Abstract: 本发明提供基于冗余特征的外差激光干涉仪的一种旋转倾斜误差校准的方法,所述方法包括:分别单独规划工作台在水平方向X或者Y方向的移动路径,选设参考测量点,在每个测量位置处,设置Rx、Ry和Rz的极大、极小值,其余自由度设置为零;根据设置的路径在参考点处执行测量,通过六自由度测量模型计算出工件台的Rz、Ry旋转倾斜角度并得到在不同测量轴之间的偏差值,然后根据泰勒展开公式建立偏差值与误差耦合系数偏差值之间的关系方程,最后解算出误差耦合系数;将更新补偿后的误差耦合系数代入模型计算出工作台的旋转倾斜度;进而达到对具有冗余特征的外差激光干涉仪的旋转倾斜姿态校准的目的。本发明可用于降低外差激光干涉仪的旋转倾斜误差。

    一种基于冗余特征的读数头组合非一致性校准的方法

    公开(公告)号:CN120043439A

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202510241676.8

    申请日:2025-03-03

    Abstract: 本发明提供一种基于冗余特征的读数头组合非一致性校准的方法,所述方法包括:根据含有误差的光栅干涉测量模型中各个自由度表达式中安装误差的部分选择能够解耦各个影响系数的参考路径,根据参考路径选择合适的参考点,使用五种读数头组合计算参考点的六自由度,以读数头1234组合为参考得到读数头组合差值,采用分步补偿,循环迭代的方法,在各个自由度上依次拟合安装误差影响系数,将更新过后的影响系数带入光栅干涉测量六自由度模型,完成读数头非一致性误差的校准。本发明用于校准光栅干涉测量系统读数头非一致性误差。

    一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法

    公开(公告)号:CN116538921A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202310491293.7

    申请日:2023-05-04

    Abstract: 本发明提供的是一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法,属于精密测量领域。所述方法包括:规划测量路径,设定测量点,设定工作台姿态,在每个测量点都设置工作台姿态Z、Rx、Ry、Rz为零;分别在3读数头组合和4读数头组合的有效区域内的测量点处执行测量;根据测量系统全局模型计算工作台的水平位置,求解读数头的水平向位移偏差;建立偏差值与位移补偿机器常数之间的关联方程,最后求解位移补偿机器常数;利用补偿后的机器常数重新计算工作台的位置,从而达到对光栅读数头位移偏移校准的目的。本发明可用于光栅读数头位移偏移误差的分析、光栅尺位移测量系统的位移测量优化。

    一种闭环控制的激光二极管驱动方法

    公开(公告)号:CN117833016A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202410004709.2

    申请日:2024-01-03

    Abstract: 本发明提供的是一种闭环控制的激光二极管驱动方法。所述方法为:根据驱动激光二极管所需的阈值电流,确定目标电信号;经ADC采集得到的正弦信号进入FPGA,经过快速傅里叶变换得到电信号的幅值,此电信号的幅值作为闭环调节所需要的电信号的幅值;根据电信号的幅值与DDS信号发生器的目标电信号的幅值,进行PID控制处理;根据PID控制处理结果,调整DDS信号发生器输出信号;完成一次闭环调节,采集新一组的信号。本发明可用于激光雷达的高精度探测中,可有效改善激光信号在传输过程中的幅值抖动与功率漂移情况。

    一种考虑旋转倾斜误差的光栅读数头位移偏移校准方法

    公开(公告)号:CN116592769A

    公开(公告)日:2023-08-15

    申请号:CN202310485505.0

    申请日:2023-05-04

    Abstract: 本发明提供的是一种考虑旋转倾斜误差的光栅读数头位移偏移校准方法,属于精密测量领域。所述方法包括:规划测量路径,设定测量点,在每个测量点都设置工作台姿态X、Y为零;设定Z、Rx、Ry、Rz的取值范围,分别在3读数头组合和4读数头组合的有效区域内的测量点处执行测量;根据测量系统全局模型分别计算在不同条件下工作台的位置;求解不同条件下读数头的位移偏差,建立偏差值与位移补偿机器常数之间的关联方程;最后求解位移补偿机器常数并进行均值处理,利用补偿后的机器常数重新计算工作台的位置,从而达到对光栅读数头位移偏移校准的目的。本发明可用于考虑旋转倾斜误差的光栅读数头位移偏移的分析、光栅尺位移测量系统的位移测量优化。

    一种用于光栅干涉仪的安装误差的校准方法

    公开(公告)号:CN120043440A

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202510241887.1

    申请日:2025-03-03

    Abstract: 本发明提供一种用于光栅干涉仪的安装误差校准的方法,所述方法为:选择能反映光栅与读数头相互之间影响的点作为参考点,使用光栅干涉仪对参考点进行测量得到条纹数,经过计算得到读数头位移,根据读数头位移设置点之间的函数关系进行最小二乘拟合,得到反映几何误差的参数;更新参数后重新计算工件台位置,完成对光栅干涉仪几何误差的校准。本发明可用于光栅干涉仪安装误差的校准、纳米级光栅干涉位移测量系统算法的优化。

    一种用于光栅读数头组合非一致性误差的校准方法

    公开(公告)号:CN119803274A

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202510034550.3

    申请日:2025-01-09

    Abstract: 本发明提供一种用于光栅读数头组合非一致性误差校准的方法,所述方法为:分别单独规划工作台移动路径,以读数头123组合为参考,分别计算其余读数头组合测量模型的六自由度;然后得到各读数头组合之间的偏差值;将影响偏差值的六自由度变量与读数头组合之间的偏差值进行数据拟合,得到更新后的读数头组合之间非一致性误差系数;利用补偿后的系数重新计算工作台的位置,完成对光栅读数头组合之间非一致性误差的校准。本发明可用于光栅读数头组合之间非一致性误差的理论分析、纳米级光栅尺位移测量系统的算法优化。

    一种双频激光干涉仪多板卡时钟同步的方法

    公开(公告)号:CN118659851A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202410678327.8

    申请日:2024-05-29

    Abstract: 本发明提供一种双频激光干涉仪多板卡时钟同步的方法。所述方法为:主板卡参考光信号经过APD、I/V转换器、移相电路、波形转换模块后的信号作为时钟信号提供给ADC芯片,同时主板卡将经过I/V转换器的信号通过同轴电缆输出到副板卡,经过副板卡的波形转换模块后作为副板卡的时钟信号,同时测量出同轴电缆上的相位延时,在主板卡的移相电路中也延时一个相同的相位,从而达到主副板卡的时钟同步。本发明可以让多板卡之间时钟同步,降低采样误差,让系统更加的精确和稳定。

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