公开(公告)号：CN119666919A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411824530.8

申请日：2024-12-12

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张平 ,  陈孟君 ,  孔硕 ,  史波 ,  杨涛 ,  高慧莹 ,  刘家驹

IPC: G01N25/20

Abstract: 本发明公开了一种热适应系数测量装置、测量及计算方法、热阻计算方法，该装置包括设置在真空罩内的上下热流计、接触式位移传感器、加热组件、冷端循环组件、支撑系统、管路组件接口，设置在真空罩外部的控制系统；加热组件和冷端循环组件各自连接一个对称设置的热流计，热流计的端部各设置一个测量试件；热流计和测量试件上连接热电偶；接触式位移传感器设置在热流计、测量试件、热电偶的外围；外部的控制系统通过管路组件接口连接至真空罩内部。准确测量在上下热流计及试件上的温度，确定通过试件和热流计的热流，通过试件和热流计上的温度计算出中间量，从而最终得到精确计算结果热适应系数及接触热阻。

公开(公告)号：CN120043439A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510241676.8

申请日：2025-03-03

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  谷兴泉 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  李承航 ,  高慧莹 ,  高腾 ,  周开

IPC: G01B9/02055

Abstract: 本发明提供一种基于冗余特征的读数头组合非一致性校准的方法，所述方法包括：根据含有误差的光栅干涉测量模型中各个自由度表达式中安装误差的部分选择能够解耦各个影响系数的参考路径，根据参考路径选择合适的参考点，使用五种读数头组合计算参考点的六自由度，以读数头1234组合为参考得到读数头组合差值，采用分步补偿，循环迭代的方法，在各个自由度上依次拟合安装误差影响系数，将更新过后的影响系数带入光栅干涉测量六自由度模型，完成读数头非一致性误差的校准。本发明用于校准光栅干涉测量系统读数头非一致性误差。

公开(公告)号：CN120043440A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202510241887.1

申请日：2025-03-03

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  谷兴泉 ,  杜浩 ,  熊显名 ,  李承航 ,  高慧莹 ,  高腾 ,  周开

IPC: G01B9/02055

Abstract: 本发明提供一种用于光栅干涉仪的安装误差校准的方法，所述方法为：选择能反映光栅与读数头相互之间影响的点作为参考点，使用光栅干涉仪对参考点进行测量得到条纹数，经过计算得到读数头位移，根据读数头位移设置点之间的函数关系进行最小二乘拟合，得到反映几何误差的参数；更新参数后重新计算工件台位置，完成对光栅干涉仪几何误差的校准。本发明可用于光栅干涉仪安装误差的校准、纳米级光栅干涉位移测量系统算法的优化。