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公开(公告)号:CN118189801A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202410404859.2
申请日:2024-04-07
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种基于可调谐滤波器的激光干涉测量信号处理装置和方法。所述装置为:光电转换器1,基于可调谐电容的RLC串联谐振网络2,自动增益控制模块3,双失谐斜率鉴频回路4,包络检波器5,信号补偿器6,后级电路7。所述方法为:测量光信号经过光电转换器1后分为两路测量信号。其中一路经过基于可调谐电容的RLC串联谐振网络2作为后级电路7的输入信号。另外一路经过自动增益控制模块3、双失谐斜率鉴频回路4、包络检波器5以及信号补偿器6后转换为幅值携带测量信号频率信息的直流信号并加载在基于可调谐电容的RLC串联谐振网络2的可调谐电容调谐引脚上,控制可调谐电容的容值。本发明可用于外差激光干涉信号处理电路中对测量信号的前处理,通过构成等效的窄带宽带通滤波器,使其中心频率可实时自动跟随测量信号的频率进行调谐,能提高外差激光干涉测量信号的信噪比,提高测量精度。
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公开(公告)号:CN119756162A
公开(公告)日:2025-04-04
申请号:CN202510034436.0
申请日:2025-01-09
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02056 , G01B9/02055
Abstract: 本发明提供基于冗余特征的外差激光干涉仪的一种旋转倾斜误差校准的方法,所述方法包括:分别单独规划工作台在水平方向X或者Y方向的移动路径,选设参考测量点,在每个测量位置处,设置Rx、Ry和Rz的极大、极小值,其余自由度设置为零;根据设置的路径在参考点处执行测量,通过六自由度测量模型计算出工件台的Rz、Ry旋转倾斜角度并得到在不同测量轴之间的偏差值,然后根据泰勒展开公式建立偏差值与误差耦合系数偏差值之间的关系方程,最后解算出误差耦合系数;将更新补偿后的误差耦合系数代入模型计算出工作台的旋转倾斜度;进而达到对具有冗余特征的外差激光干涉仪的旋转倾斜姿态校准的目的。本发明可用于降低外差激光干涉仪的旋转倾斜误差。
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公开(公告)号:CN118655954A
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN202410669916.X
申请日:2024-05-28
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供基于双频激光干涉的一种可控负高压APD驱动电路设计的方法,所述方法为:DC/DC升压芯片对电压进行升压,二极管倍压电路对电压进行反向升压,输出负高压提供给APD正常工作,DC/DC升压芯片工作在正电压下,电流镜电路将负高压信号转换成正电压信号对DC/DC升压芯片进行负反馈控制,温度传感器实时监测APD的温度传递给FPGA芯片,FPGA芯片再将APD温度信号传递给DAC芯片,DAC芯片将数字信号转换成模拟信号用于控制DC/DC升压芯片,进而精确的实时控制APD的负高压。本发明充分发挥APD的工作性能,从而更稳定准确的获得光信号。
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公开(公告)号:CN118189802A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202410405017.9
申请日:2024-04-07
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于数字控制状态变量滤波器的激光干涉测量信号处理装置和方法。所述装置包括:I/V转换模块1,数字控制状态变量滤波器2,自动增益控制模块3,鉴频器4,模数转换模块5,FPGA模块6,后级电路7。所述方法为:测量光信号转换为测量电信号后,通过稳定幅值、检取输入测量信号的频率、转换为数字信号并输入至FPGA,根据滤波需求计算并输出控制信号,数字控制状态变量滤波器接收控制信号并改变数模转换器的有效电阻值,从而改变状态变量滤波器的通频带,品质因数Q以及增益。本发明可用于激光干涉测量信号处理电路,可以配置为低通、带通等多种滤波器,且其通频带,品质因数Q以及增益都可独立调节,可以为不同频率、幅值的测量信号提供滤波、增益,提高了激光干涉测量信号处理电路的抗噪声性能。
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公开(公告)号:CN120043439A
公开(公告)日:2025-05-27
申请号:CN202510241676.8
申请日:2025-03-03
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02055
Abstract: 本发明提供一种基于冗余特征的读数头组合非一致性校准的方法,所述方法包括:根据含有误差的光栅干涉测量模型中各个自由度表达式中安装误差的部分选择能够解耦各个影响系数的参考路径,根据参考路径选择合适的参考点,使用五种读数头组合计算参考点的六自由度,以读数头1234组合为参考得到读数头组合差值,采用分步补偿,循环迭代的方法,在各个自由度上依次拟合安装误差影响系数,将更新过后的影响系数带入光栅干涉测量六自由度模型,完成读数头非一致性误差的校准。本发明用于校准光栅干涉测量系统读数头非一致性误差。
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公开(公告)号:CN120043440A
公开(公告)日:2025-05-27
申请号:CN202510241887.1
申请日:2025-03-03
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02055
Abstract: 本发明提供一种用于光栅干涉仪的安装误差校准的方法,所述方法为:选择能反映光栅与读数头相互之间影响的点作为参考点,使用光栅干涉仪对参考点进行测量得到条纹数,经过计算得到读数头位移,根据读数头位移设置点之间的函数关系进行最小二乘拟合,得到反映几何误差的参数;更新参数后重新计算工件台位置,完成对光栅干涉仪几何误差的校准。本发明可用于光栅干涉仪安装误差的校准、纳米级光栅干涉位移测量系统算法的优化。
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公开(公告)号:CN118659851A
公开(公告)日:2024-09-17
申请号:CN202410678327.8
申请日:2024-05-29
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: H04J3/06
Abstract: 本发明提供一种双频激光干涉仪多板卡时钟同步的方法。所述方法为:主板卡参考光信号经过APD、I/V转换器、移相电路、波形转换模块后的信号作为时钟信号提供给ADC芯片,同时主板卡将经过I/V转换器的信号通过同轴电缆输出到副板卡,经过副板卡的波形转换模块后作为副板卡的时钟信号,同时测量出同轴电缆上的相位延时,在主板卡的移相电路中也延时一个相同的相位,从而达到主副板卡的时钟同步。本发明可以让多板卡之间时钟同步,降低采样误差,让系统更加的精确和稳定。
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公开(公告)号:CN118533306A
公开(公告)日:2024-08-23
申请号:CN202410678633.1
申请日:2024-05-29
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明提供一种基于频率疏的双频激光干涉测量系统的相位解算方法。所述方法为:参考信号和测量信号经过模数转换后分别经过混频滤波模块、反正切模块、相位累加模块、速度补偿模块进行相位解算。对于测量信号,在多普勒频移的影响下,频率随被测目标速度而变化,因此需要用到AFC模块对测量信号中由多普勒频移引起的变化频率进行实时测量,利于相位的解算。本发明可以实时测量出多普勒频移对应的频率变化,以便在混频后能够有效的滤出所需信号,减小噪声的干扰,从而减小相位解算的误差。
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