公开(公告)号：CN110364471B

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN201910260341.5

申请日：2019-04-02

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 森俊 ,  右山芳国 ,  谷山优太 ,  生岛充 ,  波冈伸一 ,  齐藤诚 ,  河村慧美子 ,  柿沼良典 ,  椙浦一辉

IPC: H01L21/683

Abstract: 提供保护片配设方法。该方法包含：第一保护片准备工序，准备第一保护片；保护片粘贴工序，将晶片定位于框架的开口部，在外周剩余区域和框架上粘贴第一保护片；盒收纳工序，将配设于框架的晶片收纳在盒中；第一台载置工序，将晶片从盒中搬出而载置于第一台上；敷设工序，在第二台上敷设不具有粘接层的第二保护片；液态树脂滴加工序，将晶片从第一台搬出并使第一保护片与第二保护片面对，对第二保护片的与晶片的中央对应的区域滴加液态树脂；一体化工序，隔着第一保护片将晶片向液态树脂按压，利用第二、第一保护片将液态树脂推开至与晶片对应的整个面而将第一保护片粘贴于第二保护片并一体化；和切断工序，沿着晶片的外周将第一、第二保护片切断。

公开(公告)号：CN117059505A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202310488163.8

申请日：2023-05-04

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 右山芳国 ,  生岛充 ,  谷山优太 ,  柿沼良典

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供紫外线固化型液态树脂的固化判断方法、保护部件形成装置，能够可靠地判断紫外线固化型液态树脂固化的情况。该紫外线固化型液态树脂的固化判断方法对在晶片(W)的一个面(Wb)整面上推展的紫外线固化型的液态树脂(31)照射紫外线(UV)而判断液态树脂固化的情况，其中，在对液态树脂照射紫外线而使该液态树脂固化时，若由液态树脂反射紫外线而得的荧光(SL)的波长超过预先设定的阈值，则判断为液态树脂已固化。

公开(公告)号：CN113134494A

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN202110042239.5

申请日：2021-01-13

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 斋藤良信 ,  右山芳国 ,  柿沼良典 ,  谷山优太 ,  生岛充 ,  椙浦一辉

IPC: B08B7/00

Abstract: 本发明提供载置面清扫方法，使载置被加工物的载置面接近没有灰尘附着的状态。一种载置面清扫方法，当在载置于载置面上的被加工物的一个面上形成由树脂构成的板状的保护部件时对载置面进行清扫，该载置面清扫方法包含如下的工序：在载置被加工物的载置面上载置由树脂形成的片材；对载置面进行加温，并且将片材朝向载置面按压，由此使与载置面接触的片材的正面溶解，利用片材的溶解的正面取入载置面的灰尘；以及使载置于载置面上且通过溶解的正面取入了灰尘的片材从载置面分离，将灰尘从载置面去除。

公开(公告)号：CN110364471A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201910260341.5

申请日：2019-04-02

Applicant: 株式会社迪思科

Inventor： 森俊 ,  右山芳国 ,  谷山优太 ,  生岛充 ,  波冈伸一 ,  齐藤诚 ,  河村慧美子 ,  柿沼良典 ,  椙浦一辉

IPC: H01L21/683

Abstract: 提供保护片配设方法。该方法包含：第一保护片准备工序，准备第一保护片；保护片粘贴工序，将晶片定位于框架的开口部，在外周剩余区域和框架上粘贴第一保护片；盒收纳工序，将配设于框架的晶片收纳在盒中；第一台载置工序，将晶片从盒中搬出而载置于第一台上；敷设工序，在第二台上敷设不具有粘接层的第二保护片；液态树脂滴加工序，将晶片从第一台搬出并使第一保护片与第二保护片面对，对第二保护片的与晶片的中央对应的区域滴加液态树脂；一体化工序，隔着第一保护片将晶片向液态树脂按压，利用第二、第一保护片将液态树脂推开至与晶片对应的整个面而将第一保护片粘贴于第二保护片并一体化；和切断工序，沿着晶片的外周将第一、第二保护片切断。