压力检测装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1707232B

    公开(公告)日:2010-04-21

    申请号:CN200510076572.9

    申请日:2005-06-10

    Abstract: 一个杆状压力传递元件(80)的一端设置在传感单元(20)中,另一端伸入并穿过发动机(200)的插入孔(201)中。该杆状元件(80)的所述另一端所暴露在的燃烧压力通过压力传递元件(80)传递给传感单元(20)以检测该燃烧压力。该压力传递元件(80)以发动机(200)的爆震频率fn共振,并且可基于该压力传递元件(80)的共振来检测该爆震频率fn。

    电容型湿度传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1279348C

    公开(公告)日:2006-10-11

    申请号:CN03107340.9

    申请日:2003-03-20

    CPC classification number: G01N27/225

    Abstract: 电容型湿度传感器包括衬底(10)、两个电极(31、32)、钝化层(40)和一个湿度敏感层(50)。两个电极(31、32)配置于衬底(10)上并在同一平面上,而且是互相对向设置,中间有一个间隔。钝化层(40)覆盖两个电极(31、32)。湿度敏感层(50)配置于间隔上或间隔之间,并且湿度敏感层(50)的介电常数相应于湿度而改变。随着间隔的加宽,湿度传感器中的滞后减小。特别是,当间隔等于钝化层(40)两倍或更大时,滞后可减小到小于相对湿度的10%RH。

    具有隔膜的压力传感器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1308663C

    公开(公告)日:2007-04-04

    申请号:CN200510006285.0

    申请日:2005-02-02

    CPC classification number: G01L1/18 G01L9/0042 G01L9/0058 G01L23/18 G01L23/22

    Abstract: 本发明涉及一种压力传感器,包括:壳体(11);具有测量仪电阻器(5)的传感器芯片(1);设置在所述测量仪电阻器(5)上的凸起部(2);能够随压力变形的金属隔膜(17);以及设置在所述金属隔膜(17)与所述凸起部(2)之间的载荷传输部件(18)。壳体(11)容纳传感器芯片(1)、凸起部(2)和载荷传输部件(18)。壳体(11)由金属隔膜(17)覆盖。以这样一种方式检测施加于隔膜(17)的压力,即,与压力相对应的载荷通过金属隔膜(17)、载荷传输部件(18)和凸起部(2)被施加到测量仪电阻器(5),从而根据测量仪电阻器(5)的电阻变化测量压力。测量仪电阻器(5)大于凸起部(2)。

    具有隔膜的压力传感器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1651883A

    公开(公告)日:2005-08-10

    申请号:CN200510006285.0

    申请日:2005-02-02

    CPC classification number: G01L1/18 G01L9/0042 G01L9/0058 G01L23/18 G01L23/22

    Abstract: 本发明涉及一种压力传感器,包括:壳体(11);具有测量仪电阻器(5)的传感器芯片(1);设置在所述测量仪电阻器(5)上的凸起部(2);能够随压力变形的金属隔膜(17);以及设置在所述金属隔膜(17)与所述凸起部(2)之间的载荷传输部件(18)。壳体(11)容纳传感器芯片(1)、凸起部(2)和载荷传输部件(18)。壳体(11)由金属隔膜(17)覆盖。以这样一种方式检测施加于隔膜(17)的压力,即,与压力相对应的载荷通过金属隔膜(17)、载荷传输部件(18)和凸起部(2)被施加到测量仪电阻器(5),从而根据测量仪电阻器(5)的电阻变化测量压力。测量仪电阻器(5)大于凸起部(2)。

    具有隔膜的半导体压力传感器

    公开(公告)号:CN1287134C

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200410007486.8

    申请日:2004-03-05

    CPC classification number: G01L1/2281 G01L9/0054 G01L9/065

    Abstract: 一种半导体压力传感器包括:半导体衬底(10),该衬底具有用于接受压力的隔膜(30)和用于检测对应该压力的隔膜(30)的变形的桥电路。该桥电路包括一对第一测量电阻器(41、44)和一对第二测量电阻器(42a、43a)。第一测量电阻器(41、44)设置在隔膜(30)的中心,第二测量电阻器(42a、43a)设置在隔膜(30)的周边。每个第一测量电阻器(41、44)的第一电阻(RA、RD)大于每个第二测量电阻器(42a、43a)的第二电阻(RB1、RC1)。提高了该传感器的TNO特性,因此该传感器具有高检测精度。

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