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公开(公告)号:CN1701649B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN02829985.X
申请日:2002-12-13
Applicant: 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC classification number: H01L24/12 , B23K3/0623 , H01L21/288 , H01L24/10 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L2224/05001 , H01L2224/05022 , H01L2224/05026 , H01L2224/05124 , H01L2224/05155 , H01L2224/05568 , H01L2224/05644 , H01L2224/13 , H01L2224/13099 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H05K3/3484 , H05K2203/0425 , H05K2203/0776 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供的焊料供给方法,不仅实现焊盘电极的精细间距,而且获得焊料量多而且随机误差也小的焊料凸起。首先,使表面(21)朝上将基板(20)置于液体槽(11)内的非活性液体(13)中。接着,从焊料微粒形成单元(15)将包含焊料微粒(14)的非活性液体(13)送至液体槽(11),使焊料微粒(14)从供给管(16)下落到非活性液体(13)中的基板(20)上。焊料微粒(14)依靠重力自然下落到达基板(20)上。到达基板(20)的焊盘电极上的焊料微粒(14),靠重力停留于该位置,经过焊料润湿融合时间的话,便在焊盘电极表面扩展而形成焊料被膜。
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公开(公告)号:CN101124669A
公开(公告)日:2008-02-13
申请号:CN200580029704.0
申请日:2005-11-29
Applicant: 株式会社田村制作所
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L24/12 , H01L21/4853 , H01L24/11 , H01L2224/05001 , H01L2224/05022 , H01L2224/05026 , H01L2224/05568 , H01L2224/11332 , H01L2224/11822 , H01L2224/13099 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01012 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H05K3/3484 , H05K2203/0425 , H05K2203/086 , H05K2203/1344 , H01L2224/29099
Abstract: 一种焊料隆起的形成方法及装置,该焊料隆起的形成方法如下所述:首先,将基板(20)以表面(21)朝上放置在气体容器(11)内的惰性气体(13)中。接着,将含有焊料微粒(14)的惰性气体(13)从焊料喷雾器(12)向气体容器(11)送出,将焊料微粒(14)从吹出管(56)向惰性气体(13)中的基板(20)上落下。焊料微粒(14)由于重力自然落下而到达基板(20)上。到达基板(20)的垫式电极上的焊料微粒(14)由于重力滞留于此,经过焊料沾润时间后,在垫式电极表面上蔓延而形成焊料皮膜。采用本发明,可实现垫式电极的细节距,同时得到焊料量多且差异少的焊料隆起。
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公开(公告)号:CN101303989A
公开(公告)日:2008-11-12
申请号:CN200810100659.9
申请日:2005-03-29
Applicant: 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC classification number: H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明涉及一种装置,其特征在于,第一点:在搭载基板或保持有基板的夹具的载置台上设有通过所述基板或所述夹具的载置而被封闭的开口部,透过该开口部将热风吹抵所述基板或所述夹具的下侧而加热,以及,第二点,加热及回流焊焊料组成物而在基板上的多个垫式电极上形成焊料隆起时,使用焊料粒子与液体材料的混合物组成的材料作为焊料组成物,该液体材料包含熔接剂成分且常温下为液态或加热而变成液态,从所述基板侧对所述焊料组成物进行加热。采用本发明可以期待如下的效果:采用第一点的结构,可以防止热风迂回不到的基板上的糊状钎焊料的氧化和粒子粘结到基板上,采用第二点的结构,使靠近垫式电极的焊料粒子率先熔化并在垫式电极上沾润蔓延,同时使远离垫式电极的上方的焊料粒子不充分熔化,减少焊料粒子合而为一的机会。
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公开(公告)号:CN1311537C
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN03817991.1
申请日:2003-07-30
Applicant: 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构 , 鹿野快男
CPC classification number: B23Q5/28 , B23Q1/34 , B23Q1/623 , H02K41/03 , H02K2201/18
Abstract: 本发明的精密加工用载物台装置,利用台保持机构允许支承被加工物的可动台在同一面内向任意方向移动。所述可动台,利用电磁驱动装置而被赋予所述同一面内的送进。所述可动台,利用电磁制动机构而被停止在所述同一面内的任意位置上。所述电磁驱动装置,利用被驱动磁铁与驱动线圈的相互磁性作用而产生对所述可动台的送进。所述电磁制动机构具有制动用磁铁和非磁性及导电性的制动板,该制动用磁铁和该制动板的组,根据涡电流引起的磁力与该制动用磁铁的磁力的磁性作用而产生制动力,所述涡电流是随着所述可动台的移动而产生在该制动板上的。
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公开(公告)号:CN100521131C
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200580009885.0
申请日:2005-03-29
Applicant: 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC classification number: H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明涉及一种装置,其特征在于,第一点:在搭载基板或保持有基板的夹具的载置台上设有通过所述基板或所述夹具的载置而被封闭的开口部,透过该开口部将热风吹抵所述基板或所述夹具的下侧而加热,以及,第二点,加热及回流焊焊料组成物而在基板上的多个垫式电极上形成焊料隆起时,使用焊料粒子与液体材料的混合物组成的材料作为焊料组成物,该液体材料包含熔接剂成分且常温下为液态或加热而变成液态,从所述基板侧对所述焊料组成物进行加热。采用本发明可以期待如下的效果:采用第一点的结构,可以防止热风迂回不到的基板上的糊状钎焊料的氧化和粒子粘结到基板上,采用第二点的结构,使靠近垫式电极的焊料粒子率先熔化并在垫式电极上沾润蔓延,同时使远离垫式电极的上方的焊料粒子不充分熔化,减少焊料粒子合而为一的机会。
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公开(公告)号:CN101013658A
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200710006358.5
申请日:2007-01-31
Applicant: 株式会社田村制作所
CPC classification number: H01L2224/11 , H01L2924/00012
Abstract: 一种材料供给装置及方法,将由固体粒子和液体的混合物形成的材料,以使固体粒子均匀地分散在液体中的状态供给到工件上。其中,焊料材料供给装置(10)用于将由焊料粒子和具有熔接剂作用的液体的混合物形成且焊料粒子在液体中沉降的焊料材料(S)通过含有磁力搅拌器(50)和分配器(60)的装置供给到工件(W)上。磁力搅拌器(50)在容器(51)中搅拌焊料材料(S)。分配器(60),使用吸入喷出兼用的喷嘴61将通过磁力搅拌器(50)搅拌而处于焊料粒子漂浮在液体中状态的焊料(S),从容器(51)吸入后再喷出至工件(W)上。
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公开(公告)号:CN1934690A
公开(公告)日:2007-03-21
申请号:CN200580009026.1
申请日:2005-03-17
Applicant: 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC classification number: H01L24/12 , B23K1/0016 , B23K1/203 , B23K35/0244 , B23K35/262 , B23K35/36 , B23K2101/40 , H01L24/11 , H01L2224/05001 , H01L2224/05022 , H01L2224/05026 , H01L2224/05124 , H01L2224/05147 , H01L2224/05155 , H01L2224/05568 , H01L2224/056 , H01L2224/131 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01327 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H05K3/3484 , H05K3/3489 , H05K2203/0425 , H05K2203/043 , H05K2203/0776 , H01L2224/13099 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/01014 , H01L2924/013
Abstract: 一种焊料组成物(10),由液态体(12)和焊料粒子(11)的混合物组成,液态体(12)含有除去氧化膜的反应温度在所述焊料粒子的熔点附近的有机酸组成的熔接剂成分,且具有在常温下流动而在基板(20)上堆积成层状的粘性。焊料粒子(11)在液态体(12)内向焊接母材上沉淀,同时是具有可均匀分散在液态体(12)内的混合比和粒径的粒剂。通过将这样的焊料组成物在具有垫式电极(22)的基板(20)上涂布、加热,焊料粒子(11)附着在与熔接剂成分反应而被除去了表面氧化膜的垫式电极(22)上,促进形成在母材上的焊料皮膜与焊料粒子(11)的焊接,焊料粒子(11)彼此的结合被熔接剂成分的反应生成物阻碍,形成没有焊桥的焊料隆起(23)。采用本发明,可提供在基板上形成隆起时可简化涂布工序的焊料组成物。
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公开(公告)号:CN1701649A
公开(公告)日:2005-11-23
申请号:CN02829985.X
申请日:2002-12-13
Applicant: 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC classification number: H01L24/12 , B23K3/0623 , H01L21/288 , H01L24/10 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L2224/05001 , H01L2224/05022 , H01L2224/05026 , H01L2224/05124 , H01L2224/05155 , H01L2224/05568 , H01L2224/05644 , H01L2224/13 , H01L2224/13099 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H05K3/3484 , H05K2203/0425 , H05K2203/0776 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供的焊料供给方法,不仅实现焊盘电极的精细间距,而且获得焊料量多而且随机误差也小的焊料凸起。首先,使表面(21)朝上将基板(20)置于液体槽(11)内的非活性液体(13)中。接着,从焊料微粒形成单元(15)将包含焊料微粒(14)的非活性液体(13)送至液体槽(11),使焊料微粒(14)从供给管(16)下落到非活性液体(13)中的基板(20)上。焊料微粒(14)依靠重力自然下落到达基板(20)上。到达基板(20)的焊盘电极上的焊料微粒(14),靠重力停留于该位置,经过焊料润湿融合时间的话,便在焊盘电极表面扩展而形成焊料被膜。
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公开(公告)号:CN101303989B
公开(公告)日:2012-03-28
申请号:CN200810100659.9
申请日:2005-03-29
Applicant: 株式会社田村制作所 , 独立行政法人科学技术振兴机构
CPC classification number: H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明涉及一种装置,其特征在于,第一点:在搭载基板或保持有基板的夹具的载置台上设有通过所述基板或所述夹具的载置而被封闭的开口部,透过该开口部将热风吹抵所述基板或所述夹具的下侧而加热,以及,第二点,加热及回流焊焊料组成物而在基板上的多个垫式电极上形成焊料隆起时,使用焊料粒子与液体材料的混合物组成的材料作为焊料组成物,该液体材料包含熔接剂成分且常温下为液态或加热而变成液态,从所述基板侧对所述焊料组成物进行加热。采用本发明可以期待如下的效果:采用第一点的结构,可以防止热风迂回不到的基板上的糊状钎焊料的氧化和粒子粘结到基板上,采用第二点的结构,使靠近垫式电极的焊料粒子率先熔化并在垫式电极上沾润蔓延,同时使远离垫式电极的上方的焊料粒子不充分熔化,减少焊料粒子合而为一的机会。
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公开(公告)号:CN100541750C
公开(公告)日:2009-09-16
申请号:CN200680008428.4
申请日:2006-03-22
Applicant: 株式会社田村制作所
CPC classification number: H05K3/3484 , B23K1/012 , B23K3/0623 , B23K2101/38 , H01L21/4853 , H01L24/11 , H01L24/12 , H01L2224/1131 , H01L2224/13099 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01019 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H05K3/3494 , H05K2203/0425 , H05K2203/0557 , H05K2203/0776 , H05K2203/081
Abstract: 利用一种具有盖结构(51)的加热装置在基板上形成焊料隆起,该盖结构能隔断热风(41,42)直接吹向焊料组成物(10)。通过该装置,可减少与焊料组成物(10)接触的高温的氧分子,抑制焊料组成物(10)的氧化,能在使用热风(41,42)加热的情况下由液状焊料组成物(10)形成焊料隆起。而且,盖结构(51)被热风(41,42)均匀加热,因而来自盖结构(51)的辐射热也均匀,其结果容器(30)能加热得更均匀。由于抑制了热风(41,42)直接吹向液面(13),因而不会出现热风(41,42)吹散液状焊料组成物(10)的情况。
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