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公开(公告)号：CN109425981B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201810966381.7
申请日：2018-08-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 一种紧凑并且稳健的微机电反射器系统，其包括支承件、反射器、包括边缘点的反射器的外围边缘以及包括压电致动器并且从支承件悬挂反射器的悬挂件。两对悬挂件从两个固定点被固定至支承件，使得在每对悬挂件中，成对悬挂件的第一端被固定至该对悬挂件共同的固定点。第一旋转轴与穿过两个固定点的线对准，并且将反射器分成第一反射器部分和第二反射器部分。在每对悬挂件中，一个悬挂件的第二端被耦接至第一反射器部分，并且另一悬挂件的第二端被耦接至第二反射器部分。
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公开(公告)号：CN109425981A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810966381.7
申请日：2018-08-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 一种紧凑并且稳健的微机电反射器系统，其包括支承件、反射器、包括边缘点的反射器的外围边缘以及包括压电致动器并且从支承件悬挂反射器的悬挂件。两对悬挂件从两个固定点被固定至支承件，使得在每对悬挂件中，成对悬挂件的第一端被固定至该对悬挂件共同的固定点。第一旋转轴与穿过两个固定点的线对准，并且将反射器分成第一反射器部分和第二反射器部分。在每对悬挂件中，一个悬挂件的第二端被耦接至第一反射器部分，并且另一悬挂件的第二端被耦接至第二反射器部分。
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公开(公告)号：CN118790951A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202410441108.8
申请日：2024-04-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及微机电系统MEMS器件和制造MEMS器件的方法。该MEMS器件按从底部到顶部的顺序包括：处理层、第一电绝缘层、通过对沉积的多晶硅(poly‑Si)层进行图案化而形成的第一器件层、第二电绝缘层、通过对单晶硅(mono‑Si)层进行图案化而形成的第二器件层以及盖层。
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公开(公告)号：CN118545672A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410208865.0
申请日：2024-02-26
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及MEMS器件和制造MEMS器件的方法。该MEMS器件包括：处理层，包括至少一个腔和至少一个悬挂结构；第一器件层，包括至少一个静态电极；第二器件层，包括可移动地悬挂在第一器件层上方的至少一个感震元件；以及盖层。至少一个感震元件充当至少一个可移动电极，或者至少一个感震元件机械地耦接以与至少一个可移动电极一起移动。处理层、第一器件层、第二器件层和盖层、在处理层与第一器件层之间的第一电绝缘层以及在第一器件层与第二器件层之间的第二电绝缘层被配置成形成壳体，该壳体包括至少一个感震元件、至少一个静态电极和至少一个可移动电极。
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公开(公告)号：CN117897621A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202280059137.7
申请日：2022-03-17
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01P15/125 , H01L29/84
Abstract: 抑制静电电容值的检测精度的下降。惯性传感器(1)包括：MEMS基板(50)，其包含静电电容部(110)、保持部(130)以及弹簧部(150)，静电电容部(110)具有第1可动电极(111)和第2可动电极(115)，构成为静电电容与第1可动电极(111)和第2可动电极(115)之间的距离相应地变化，保持部(130)构成为保持静电电容部(110)，弹簧部(150)将静电电容部(110)和保持部(130)连接，该弹簧部(150)构成为将第1可动电极(111)和第2可动电极(115)分别支承为能够相对于保持部(130)移位；以及上盖(30)，其与MEMS基板(50)接合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109782431B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201811331965.3
申请日：2018-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供了一种具有中央支撑件的微机电反射器。本发明涉及一种扫描式微机电反射器系统，其包括具有反射器本体的反射器、在器件平面上方的与反射器本体竖向对准的第一腔体以及在器件平面下方的与反射器本体竖向对准的第二腔体。反射器还包括位于反射器本体中的中央开口内的中央附接点。一个或更多个挠曲件从中央开口的侧壁延伸至中央附接点。挠曲件使得在致动器单元将反射器本体向器件平面外倾斜时中央附接点能够保持静止在器件平面中。反射器系统包括延伸穿过腔体到达反射器的中央附接点的中央支撑结构。
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公开(公告)号：CN107783280B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201710707612.8
申请日：2017-08-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 阿尔蒂·托尔凯利
Abstract: 本公开内容涉及扫描微机电反射器系统。通过将致动器的移动端固定至使反射器从框架悬挂下来的悬挂件来机械地放大使用MEMS反射镜系统中的弯曲压电致动器获得的致动范围。固定点位于悬挂件的两个端部之间的某个地方。致动器和悬挂件一起形成其制动范围比致动器通过其自身可以获得的致动范围大的致动器单元。在一个实施方式中，悬挂件是刚性杆。在另一实施方式中，悬挂件是另一弯曲致动器，使得可以从第二致动器的致动运动获得致动范围的额外增加。
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公开(公告)号：CN107667067B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201680027941.1
申请日：2016-05-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安蒂·伊霍拉 , 阿尔蒂·托尔凯利 , 维尔-佩卡·吕特克宁 , 马蒂·柳库
IPC: G01P15/125 , B81B3/00
Abstract: 本发明涉及一种微机械器件，其包括仅包含均质硅材料的多层微机械结构。器件层包括至少一转子和至少两个定子。来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第一表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度，并且来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第二表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度。
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公开(公告)号：CN109782431A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811331965.3
申请日：2018-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供了一种具有中央支撑件的微机电反射器。本发明涉及一种扫描式微机电反射器系统，其包括具有反射器本体的反射器、在器件平面上方的与反射器本体竖向对准的第一腔体以及在器件平面下方的与反射器本体竖向对准的第二腔体。反射器还包括位于反射器本体中的中央开口内的中央附接点。一个或更多个挠曲件从中央开口的侧壁延伸至中央附接点。挠曲件使得在致动器单元将反射器本体向器件平面外倾斜时中央附接点能够保持静止在器件平面中。反射器系统包括延伸穿过腔体到达反射器的中央附接点的中央支撑结构。
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公开(公告)号：CN107305288B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201710244998.3
申请日：2017-04-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及扫描反射镜装置及其制造方法，涉及一种由反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片形成的光学装置。反射镜薄片包括导电材料的第一层、导电材料的第二层和位于第一层与第二层之间的电绝缘材料的第三层。反射镜元件由反射镜薄片的第二层形成，并且具有在开放至至少第一层的腔的底部中的反射表面。当反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片彼此接合时，可以利用良好的光学质量的平坦玻璃薄片来包围反射镜元件。
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