公开(公告)号：CN112230018B

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202010573949.6

申请日：2020-06-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 绀野彰 ,  加藤良隆 ,  维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及电容式微机械加速度计，并且特别地涉及具有可移动的转子的加速度传感器，当加速度计以垂直于基板平面的加速度分量进行移动时，所述可移动的转子可以旋转离开基板平面。电容式微机械加速度计包括附加的阻尼弹簧以减少转子在基板平面中的不需要的移动，从而减小由转子在基板平面中的运动引起的寄生电容。阻尼弹簧相对于加速度计的其他部件竖直地凹入，以使阻尼弹簧对转子离开基板平面的运动的影响最小化。

公开(公告)号：CN105683709B

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201480058865.1

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁 ,  托米·皮赖宁

IPC: G01C19/5719

Abstract: 一种微机电传感器设备，包括测震质量块和弹簧结构，该弹簧结构针对测震质量块限定驱动方向和感测方向，感测方向与驱动方向垂直。电容式换能器结构包括：定子，其要被锚定至静态支承结构；以及转子，其以机械方式连接至测震质量块。该电容式换能器结构被布置成倾斜的定向，其中，在驱动方向与定子表面的切线之间形成有非零角度。倾斜的电容式换能器结构产生静电力以减小线性振动的正交误差。

公开(公告)号：CN108027386A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680054607.5

申请日：2016-09-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁 ,  马蒂·柳库

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

Abstract: 本发明涉及一种微机电装置，其包括半挠性敏感质量块，该半挠性敏感质量块包括至少一个一级部分、至少一个二级部分和将半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分和所述至少一个一级部分悬挂的至少一个刚性弹簧。当该装置处于其正常操作范围时，刚性弹簧大致使所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分作为单个刚性实体移动。该装置还包括构造成使所述至少一个一级部分停止的至少一个第一止动器结构。半挠性敏感质量块构造成在该装置受到以超出该装置的正常操作范围的力碰撞该装置的冲击时通过所述至少一个刚性弹簧的偏转而变形。在该冲击引起半挠性敏感质量块至少在沿着运动轴线的一个方向上的运动的同时，所述至少一个刚性弹簧还构造成产生回复力，该回复力使半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分被驱动成在与由冲击引起的沿着运动轴线的运动相反的方向上进行回复运动，其中，所述至少一个二级部分在回复运动中的动量进一步使所述至少一个一级部分与第一止动器结构脱离。

公开(公告)号：CN107771287A

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201680036437.8

申请日：2016-06-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及一种用于测量线性加速度的具有可移动部件和固定部件的MEMS传感器。MEMS传感器包括布置在提供用于MEMS传感器的密封的壁的公共框架结构之内的至少两个相互独立的差分传感器元件。相互独立的差分传感器元件成对地配置成执行线性加速度的双差分检测。MEMS传感器包括公共锚定区域，所述至少两个成对布置的差分传感器元件锚定至公共锚定区域。公共锚定区域位于成对地配置的差分传感器元件的形心处。还提供了MEMS传感器的自检能力。

公开(公告)号：CN107003333A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580065424.9

申请日：2015-11-24

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维莱-佩卡·吕特克宁 ,  马蒂·柳库

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明的MEMS传感器具有用于在旋转模式下测量在与弹簧轴线垂直的平面内方向上的加速度的可移动部件和固定部件。所述部件包括元件框架(1)、基板(7)、检测质量块(2)、与检测质量块(2)和基板(7)连接的弹簧(5)以及梳状电极(9a，9b)。MEMS传感器的主要特征在于部件的布置引起对于测量在覆盖纵向加速度和横向加速度的范围内的加速度的固有灵敏性。一个或更多个部件相对于元件框架(1)倾斜。本发明的半导体封装(12)包括至少一个MEMS传感器。

公开(公告)号：CN105683709A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480058865.1

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁 ,  托米·皮赖宁

IPC: G01C19/5719

Abstract: 一种微机电传感器设备，包括测震质量块和弹簧结构，该弹簧结构针对测震质量块限定驱动方向和感测方向，感测方向与驱动方向垂直。电容式换能器结构包括：定子，其要被锚定至静态支承结构；以及转子，其以机械方式连接至测震质量块。该电容式换能器结构被布置成倾斜的定向，其中，在驱动方向与定子表面的切线之间形成有非零角度。倾斜的电容式换能器结构产生静电力以减小线性振动的正交误差。

公开(公告)号：CN118624940A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410254578.3

申请日：2024-03-06

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 维莱-佩卡·吕特克宁 ,  马蒂·柳库 ,  安斯·布卢姆奎斯特

IPC: G01P15/125 ,  G01P1/00

Abstract: 本申请涉及平面内和平面外加速度计。在一些实施例中，公开了一种微机电加速度计，其包括一个或更多个检测质量块。该加速度计还包括四组定子梳状物，该四组定子梳状物与转子梳状物一起形成一组四个测量电容器。一些转子梳状物具有相对于定子的在装置平面内的方向上的正偏移，而其他转子梳状物具有负偏移。一些转子梳状物具有相对于定子梳状物的在垂直于装置平面的方向上的负偏移。一些定子梳状物具有相对于转子梳状物的在垂直于装置平面的方向上的负偏移。

公开(公告)号：CN112485470B

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202010953106.9

申请日：2020-09-11

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁 ,  汉努·维斯特林

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及低噪声多轴微机电系统加速度计。本发明通过使用较大的单个检测质量块测量沿两个正交轴的加速度提供了一种高精度、低噪声的MEMS加速度计。新颖的电极布置可以被动地防止加速度测量中的跨轴误差。新颖的弹簧布置和新颖的检测质量块布局进一步降低了噪声。

公开(公告)号：CN112230018A

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN202010573949.6

申请日：2020-06-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 绀野彰 ,  加藤良隆 ,  维莱-佩卡·吕特克宁

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明涉及电容式微机械加速度计，并且特别地涉及具有可移动的转子的加速度传感器，当加速度计以垂直于基板平面的加速度分量进行移动时，所述可移动的转子可以旋转离开基板平面。电容式微机械加速度计包括附加的阻尼弹簧以减少转子在基板平面中的不需要的移动，从而减小由转子在基板平面中的运动引起的寄生电容。阻尼弹簧相对于加速度计的其他部件竖直地凹入，以使阻尼弹簧对转子离开基板平面的运动的影响最小化。

公开(公告)号：CN108027386B

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201680054607.5

申请日：2016-09-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 ,  维莱-佩卡·吕特克宁 ,  马蒂·柳库

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

Abstract: 本发明涉及一种微机电装置，其包括半挠性敏感质量块，该半挠性敏感质量块包括至少一个一级部分、至少一个二级部分和将半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分和所述至少一个一级部分悬挂的至少一个刚性弹簧。当该装置处于其正常操作范围时，刚性弹簧大致使所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分作为单个刚性实体移动。该装置还包括构造成使所述至少一个一级部分停止的至少一个第一止动器结构。半挠性敏感质量块构造成在该装置受到以超出该装置的正常操作范围的力碰撞该装置的冲击时通过所述至少一个刚性弹簧的偏转而变形。在该冲击引起半挠性敏感质量块至少在沿着运动轴线的一个方向上的运动的同时，所述至少一个刚性弹簧还构造成产生回复力，该回复力使半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分被驱动成在与由冲击引起的沿着运动轴线的运动相反的方向上进行回复运动，其中，所述至少一个二级部分在回复运动中的动量进一步使所述至少一个一级部分与第一止动器结构脱离。