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公开(公告)号：CN109991732B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201811398803.1
申请日：2018-11-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本文公开了扫描反射器设备和反射器系统驱动方法。设备包括反射器系统和反馈电路。系统包括支承件；反射器；和弹簧结构，从支承件悬挂反射器，用于反射器在两种正交振荡模式下的扫描运动。各模式具有以初始带宽在固有谐振频率达到峰值的频率响应。系统包括：第一换能器结构，用于机械致动反射器；及第二换能器结构，用于生成表示反射器机械运动的感测信号。电路被配置成从第二换能器结构的换能器接收感测信号并且基于接收的感测信号向第一换能器结构的换能器生成驱动信号。对于各模式，电路被配置成：将驱动信号的振幅和频率调整到非线性振动范围，在该范围中，峰值频率处的频移是初始带宽的至少十倍；与调制信号波形成比例地改变驱动信号振幅。
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公开(公告)号：CN109991732A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201811398803.1
申请日：2018-11-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 一种设备，包括反射器系统和反馈电路。反射器系统包括支承件；反射器；和弹簧结构，从支承件悬挂反射器，用于反射器在两种正交振荡模式下的扫描运动。每种振荡模式具有以初始带宽在固有谐振频率达到峰值的频率响应。反射器系统包括：第一换能器结构，用于机械致动反射器；以及第二换能器结构，用于生成表示反射器的机械运动的一个或更多个感测信号。反馈电路被配置成从第二换能器结构的换能器接收感测信号并且基于接收的感测信号向第一换能器结构的换能器生成驱动信号。对于每种振荡模式，反馈电路被配置成：将驱动信号的振幅和频率调整到峰值频率处的频移是初始带宽的至少十倍的非线性振动范围；与调制信号的波形成比例地改变驱动信号的振幅。
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公开(公告)号：CN107305288B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201710244998.3
申请日：2017-04-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及扫描反射镜装置及其制造方法，涉及一种由反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片形成的光学装置。反射镜薄片包括导电材料的第一层、导电材料的第二层和位于第一层与第二层之间的电绝缘材料的第三层。反射镜元件由反射镜薄片的第二层形成，并且具有在开放至至少第一层的腔的底部中的反射表面。当反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片彼此接合时，可以利用良好的光学质量的平坦玻璃薄片来包围反射镜元件。
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公开(公告)号：CN107305288A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201710244998.3
申请日：2017-04-14
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: B81B3/0054 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , B81B2207/07 , B81B2207/095 , B81C1/0019 , B81C2203/0109 , G02B1/11 , G02B5/0825 , G02B7/1821 , G02B26/0816 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B26/0858 , G02B26/105 , G02B26/085 , G02B26/10
Abstract: 本发明涉及扫描反射镜装置及其制造方法，涉及一种由反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片形成的光学装置。反射镜薄片包括导电材料的第一层、导电材料的第二层和位于第一层与第二层之间的电绝缘材料的第三层。反射镜元件由反射镜薄片的第二层形成，并且具有在开放至至少第一层的腔的底部中的反射表面。当反射镜薄片、盖薄片和玻璃薄片彼此接合时，可以利用良好的光学质量的平坦玻璃薄片来包围反射镜元件。
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