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公开(公告)号：CN104137220B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380011705.7
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G09B19/24 , G06F3/0484 , G09B5/02 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/22
Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。
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公开(公告)号：CN104272426A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380021994.9
申请日：2013-03-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/10 , H01J2237/24475 , H01J2237/24507 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804 , H01J2237/2805 , H01J2237/2826 , H01J37/09 , H01J37/244 , H01J2237/24455 , H01J2237/24465
Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。
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公开(公告)号：CN105359250A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN104094373A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380008021.1
申请日：2013-02-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
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公开(公告)号：CN106158567A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610517840.4
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104272426B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380021994.9
申请日：2013-03-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/244 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/21 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/10 , H01J2237/24475 , H01J2237/24507 , H01J2237/2802 , H01J2237/2804 , H01J2237/2805 , H01J2237/2826
Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。
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公开(公告)号：CN106158567B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201610517840.4
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。
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公开(公告)号：CN103733298B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
Abstract: 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
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公开(公告)号：CN104137220A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011705.7
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G09B19/24 , G06F3/0484 , G09B5/02 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/22
Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。
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公开(公告)号：CN103733298A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
Abstract: 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
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