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公开(公告)号：CN104838466B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201380061917.6
申请日：2013-11-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/24 , G06F3/048 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/265 , G06F3/048 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/304 , H01J2237/202 , H01J2237/248 , H01J2237/2801
Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的
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公开(公告)号：CN104137220B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380011705.7
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G09B19/24 , G06F3/0484 , G09B5/02 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/22
Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。
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公开(公告)号：CN104364877B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201380029956.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20285 , H01J2237/22 , H01J2237/2801 , H01J2237/2809
Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。
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公开(公告)号：CN105359250A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN104838466A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201380061917.6
申请日：2013-11-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/24 , G06F3/048 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/265 , G06F3/048 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/304 , H01J2237/202 , H01J2237/248 , H01J2237/2801
Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105359250B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN104364877A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029956.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20285 , H01J2237/22 , H01J2237/2801 , H01J2237/2809 , H01J37/244 , H01J2237/24495
Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。
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公开(公告)号：CN105359249B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201480038531.8
申请日：2014-05-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/24
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/20207 , H01J2237/20221 , H01J2237/24475 , H01J2237/2804
Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置，能够预先把握能通过EBSD检测器分析的试样的分析位置，并能够在短时间内将试样调整至所期望的分析位置。该电子粒子束装置具备：带电粒子源(101)；试样载物台(116)；区别试样中的通过上述EBSD检测器能观察的部分及不能观察的部分区别并显示的图像显示部(117)；输入利用上述EBSD检测器的观察位置的操作输入部(121)；以能用上述EBSD检测器观察由上述操作输入部输入的观察位置的方式控制上述试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动的控制部(118)。(111)；带电粒子光学系统(115)；EBSD检测器
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公开(公告)号：CN105359249A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480038531.8
申请日：2014-05-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/24
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/20207 , H01J2237/20221 , H01J2237/24475 , H01J2237/2804
Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置，能够预先把握能通过EBSD检测器分析的试样的分析位置，并能够在短时间内将试样调整至所期望的分析位置。该电子粒子束装置具备：带电粒子源(111)；带电粒子光学系统(115)；EBSD检测器(101)；试样载物台(116)；区别试样中的通过上述EBSD检测器能观察的部分及不能观察的部分区别并显示的图像显示部(117)；输入利用上述EBSD检测器的观察位置的操作输入部(121)；以能用上述EBSD检测器观察由上述操作输入部输入的观察位置的方式控制上述试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动的控制部(118)。
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公开(公告)号：CN104137220A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011705.7
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G09B19/24 , G06F3/0484 , G09B5/02 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/22
Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。
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