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公开(公告)号：CN1033469C
公开(公告)日：1996-12-04
申请号：CN92103008.8
申请日：1992-04-22
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01L13/06
CPC classification number: G01L19/0084 , G01L19/0092 , G01L19/02 , G01L19/04 , G01L19/146 , G01L19/147
Abstract: 一种多功能压差传感器，它包括：半导体芯片，具有与半导体芯片的厚壁部分相结合的结合部分的固定基座，和与固定基座相结合的壳体。半导体芯片具有：压差检测单元，静压检测单元，和温度检测单元。固定基座的结合部分不厚于半导体芯片。固定基座有一个或多个薄壁部分，从平面图看，薄壁部分位于半导体芯片的圆形压力敏感膜内。
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公开(公告)号：CN1015132B
公开(公告)日：1991-12-18
申请号：CN89106651.9
申请日：1989-08-31
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01L13/02
CPC classification number: G01L19/0645 , G01L13/025 , G01L19/0038
Abstract: 一个差压传感器，包括：布置在一个物件两侧的两个压力接收膜，物体外面固定有确定的两个槽，槽内充满压力传递介质；布置在两个压力接收膜之间的一个中心膜，这样就确定了有两个箱室，在该物体内部充进压力传递介质；两个主传递通道，分别在两个箱室和两个槽之间传递；两个副传递通道，传递该两个箱室的压力；还包括：装有两个压力测量室的一个差压敏感元件，接收该两个副传递通道到该两个槽所传递的压力并把该两个压力的差压转换成电信号。
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公开(公告)号：CN1028447C
公开(公告)日：1995-05-17
申请号：CN91101796.8
申请日：1991-03-19
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01L9/06
CPC classification number: G01L19/0092 , G01L9/0054 , G01L9/065
Abstract: 在用于差压和静压传送器的集成复合传感器中，在静压检测薄片层上形成一对静压检测元件，在靠近差压检测薄片层中心的固定部分上形成另一对静压检测元件。出现在静压传感器中的差压产生的第二项是一个距离的函数，因此作用在每个静压检测元件上的影响相等。这样，通过将静压传感器构成一桥电路，可以检测到不受差压影响的静压值，因而有可能精确地确定差压和静压。
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公开(公告)号：CN1066124A
公开(公告)日：1992-11-11
申请号：CN92103008.8
申请日：1992-04-22
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01L13/06
CPC classification number: G01L19/0084 , G01L19/0092 , G01L19/02 , G01L19/04 , G01L19/146 , G01L19/147
Abstract: 一种多功能压差传感器，它包括：半导体芯片，具有与半导体芯片的厚壁部分相结合的结合部分的固定基座，和与固定基座相结合的壳体。半导体芯片具有：压差检测单元，静压检测单元，和温度检测单元。固定基座的结合部分不厚于半导体芯片。固定基座有一个或多个薄壁部分，从平面图看，薄壁部分位于半导体芯片的圆形压力敏感膜内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1012217B
公开(公告)日：1991-03-27
申请号：CN89106647.0
申请日：1989-08-30
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01L13/06
CPC classification number: G01L19/146 , G01L9/0054 , G01L19/0076 , G01L19/147
Abstract: 半导体压力变换装置，其中与硅片相连的固定盘由两个彼此叠加在一起的构件构成，第一固定盘的纵向弹性模量与半导体膜片的纵向弹性模量明显不同，第一固定盘具有高的绝缘性，它的线膨胀系数近似等于半导体膜片的线膨胀系数，另一方面，制成第二固定盘的材料的纵向弹性模量和线膨胀系数近似等于半导体膜片的纵向弹性模量和线膨胀系数。
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公开(公告)号：CN1040681A
公开(公告)日：1990-03-21
申请号：CN89106647.0
申请日：1989-08-30
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01L13/06
CPC classification number: G01L19/146 , G01L9/0054 , G01L19/0076 , G01L19/147
Abstract: 半导体压力变换装置，其中与硅片相连的固定盘由两个彼此叠加在一起的构件构成，第一固定盘的纵向弹性模量与半导体膜片的纵向弹性模量明显不同，第一固定盘具有高的绝缘性，它的线膨胀系数近似等于半导体膜片的线膨胀系数，另一方面，制成第二固定盘的材料的纵向弹性模量和线膨胀系数近似等于半导体膜片的纵向弹性模量和线膨胀系数。
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公开(公告)号：CN1024592C
公开(公告)日：1994-05-18
申请号：CN91103444.7
申请日：1991-05-20
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01L9/04
CPC classification number: G01L19/0084 , G01L9/0054 , G01L19/146 , G01L19/147
Abstract: 本压力测定传感器装有膜片，该膜片包括固定在压力测定传感器主体上的较厚的周边固定部分、受被测压力作用而移动的受压部分、及相应于受压部分的移动而产生应变的应变部分，该受压部分具有的形状是在随着被测压力的变化而移动时，实质上能产生与刚性构件同样作用的形状，应变部分对应于受压部分的移动，实际上受挠曲应力的作用。因此在应变部分上形成的若干个测量电阻受到与被测压力成正比的拉伸应力或压缩应力的作用。
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公开(公告)号：CN1056747A
公开(公告)日：1991-12-04
申请号：CN91103444.7
申请日：1991-05-20
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01L1/18
CPC classification number: G01L19/0084 , G01L9/0054 , G01L19/146 , G01L19/147
Abstract: 本压力测定传感器装有膜片，该膜片包括固定在压力测定传感器主体上的较厚的周边固定部分、受被测压力作用而移动的受压部分、及相应于受压部分的移动而产生应变的应变部分，该受压部分具有的形状是在随着被测压力的变化而移动时，实质上能产生与刚性构件同样作用的形状，应变部分对应于受压部分的移动，实际上受挠曲应力的作用，因此在应变部分上形成的若干个测量电阻受到与被测压力成正比的拉伸应力或压缩应力的作用。
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公开(公告)号：CN1055060A
公开(公告)日：1991-10-02
申请号：CN91101796.8
申请日：1991-03-19
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01L19/0092 , G01L9/0054 , G01L9/065
Abstract: 在用于差压和静压传送器的集成复合传感器中，在静压检测薄片层上形成一对静压检测元件，在靠近差压检测薄片层中心的固定部分上形成另一对静压检测元件。出现在静压传感器中的差压产生的第二项是一个距离的函数，因此作用在每个静压检测元件上的影响相等。这样，通过将静压传感器构成一桥电路，可以检测到不受差压影响的静压值，因而有可能精确地确定差压和静压。
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