公开(公告)号：CN119895533A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202380066690.8

申请日：2023-09-14

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山本慎司 ,  窟口博司

IPC: H01L21/02 ,  G06N3/08

Abstract: 本发明提供一种能够抑制源动力的使用量的基板处理系统。基板处理系统(1000)包含基板处理装置(200)、及控制装置(300)。控制装置(300)建立基板处理装置(200)的动作的排程(SK)。控制装置(300)包含存储部(303)、及控制部(304)。存储部(303)存储用于建立源动力的使用量互不相同的复数个排程(SK)的复数个已学习模型。控制部(304)可基于复数个已学习模型而建立复数个排程(SK)。复数个已学习模型分别基于学习时输入数据执行强化学习而被建构。学习时输入数据包含片数信息、制程条件信息、及源动力信息(RS)。源动力信息(RS)表示在基板处理装置(200)的动作的步骤中所含的各移动中使用的源动力的使用量。

公开(公告)号：CN119213531A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202380021806.6

申请日：2023-02-16

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 中野佑太 ,  窟口博司 ,  生和高明 ,  松井浩彬 ,  稻木大 ,  上野智宏 ,  吉原滉树 ,  大野拓也

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的基板处理装置管理系统具有：信息分析装置，具有生成代表模型的模型生成部，该代表模型表示复数个处理信息间的相关关系，所述复数个处理信息表示与复数个腔室中的代表腔室中的基板的处理相关联的动作或状态；以及辅助装置，获取复数个腔室各自的复数个处理信息，基于将其他腔室的复数个处理信息间的相关关系与代表模型进行比较的比较信息，生成与其他腔室的维护作业有关的辅助信息。